涂敷過程在真空下進行，好稱它為蒸汽沉積聚合（VDP），作為一種涂敷技術，VDP提供了可靠的先進性,明顯要由于刷涂，浸涂，噴涂等其它涂敷技術。它的先進性主要來源于它是由氣相單體直接形成固體涂層而沒有一個液態(tài)的中間過渡階段。因此在傳統(tǒng)方法中由于表面張力而引起的從棱刃處流淌到低的溝槽里積料的現(xiàn)象它不會發(fā)生。Parylene涂層是從基材的表面向外"生長"，形成一個均勻厚度的敷形涂層，好多試驗證明這種涂敷處理涂層厚度在1微米以下時也是無的。

帕利靈(Parylene)是一族由對二合成的熱塑性塑料聚合物的通稱。它是在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質，可以生成數(shù)百微米內任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術可以將膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性，無微孔無缺陷，化學性質不活潑等優(yōu)良特性。由于真空沉積不使用催化劑和溶劑，產出的薄膜很純凈，釋氣量很小。有3種成熟的帕利靈材料：C型、D型和N型，帕利靈C透水性和透氣性比其他兩種小很多，應用廣泛。帕利靈C在溫度300K時太赫茲頻段的折射率大約為1.62，4.5K時降低到約1.5141。吸收系數(shù)約為數(shù)10cm-1量級。帕利靈C的這些特性使之成為硅、鍺材質的透鏡和窗口的合適的抗反鍍膜材料。

　真空鍍膜加工技能在塑料制品的運用上比較廣泛。塑料具有易成型，成本低，質量輕，不腐蝕等特點，因而塑料制品運用廣泛，但因其缺點制約了擴大運用，如不漂亮、易老化、機械性能差、耐熱差、吸水率很好。經過真空鍍膜技能的運用，使塑料外表金屬化，將有機資料和無機資料結合起來，大大進步了它的物理、化學性能。

真空鍍膜加工技能是一種新穎的資料組成與加工的新技能，是外表工程技能范疇的主要組成部分。真空鍍膜加工技能是使用物理、化學手法將固體外表涂復一層特殊功能的鍍膜，然后使固體外表具有耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、、防輻射、導電、導磁、絕緣和裝修等許多優(yōu)于固體資料本身的優(yōu)勝功能，到達提高商品質量、延伸商品壽數(shù)、節(jié)約能源和取得明顯技能經濟效益的效果。

Parylene可以改變橡膠制品的表面特性，改變橡膠制品的摩擦性能、觸感、耐化學藥品溶脹、耐靜穿性能等。

硅橡膠經Parylene Coating后可以在硅膠按鍵產品的表面形成的一種均勻而極?。?-3 μm）、且與原產品表面輪廓相同的聚合物保護層。經過Parylene后的產品，具有良好的屏障特性、光學性能、熱性能以及良好的抗磨擦能力，使用壽命延長。

Parylene材料本身有很優(yōu)異的物理機械性能和電性能

Parylene材料本身有很優(yōu)異的物理機械性能和電性能，不僅機械強度好，摩擦系數(shù)低，水汽透過率低，而且介電強度高，絕緣電阻高；介質損耗和介電常數(shù)也比較低，作為防護涂層它能覆蓋從工頻到10GHZ以上頻率段電路使用。