電容式位移傳感器尤其適合緩慢變化或微小量的測量，一般來說采用電容式傳感器進(jìn)行檢測比較適宜。電容式位移傳感器的這些性能必然促使其應(yīng)用范圍越來越廣泛。主要用于解決壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等測量問題。能工作在高低溫、強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場等惡劣的環(huán)境中，也能對帶有磁性的工件進(jìn)行測量。

優(yōu)點(diǎn)：具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。

變極距型電容傳感器

變極距型電容傳感器分為可動極板，一般稱為動片和固定極板，當(dāng)動片因被測量變化引起移動時，就改變了兩極板間的距離d，從而使電容量發(fā)生變化。設(shè)初始極距為d，則

若電容器極板距離由初始值d縮小Δd不是線性關(guān)系。但是，若時。則式可以簡化為

此時，C與Δd近似為線性關(guān)系，所以變極距型電容式傳感器只有在Δd/d很小時，才有近似的線性關(guān)系，一般位移應(yīng)小于間距的1/10。

在實(shí)際應(yīng)用中，為了改善非線性、提高靈敏度和減少外界干擾的影響，電容傳感器常做成差動形式。

電容上的任何壓力差導(dǎo)致隔膜在壓力的方向上彎曲。傳感膜片是精密制造的彈簧元件，其位移是所施加力的可預(yù)測函數(shù)。在這種情況下施加的力只能是根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的方程式F = PA作用在隔膜表面區(qū)域上的壓差的函數(shù)。

在這種情況下，我們有兩個由兩個流體壓力相互作用引起的力，所以我們方程可以重寫，以描述作為壓差（P1 - P2）和膜片面積函數(shù)的合力：F = （P1 - P2）A。由于隔膜面積是恒定的，并且力可預(yù)測地與隔膜位移有關(guān)，所以可以計算差壓是準(zhǔn)確地測量隔膜的位移。動極板相對于定極板移動時，機(jī)械位移量轉(zhuǎn)變?yōu)殡娙葜档淖兓?，通過電路轉(zhuǎn)化得到電信號的相應(yīng)變化量。