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發(fā)布時(shí)間:2020-07-25 05:12  






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分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。

國外干泵市場的不斷增長,其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。





  往復(fù)式真空泵的工作原理圖,往復(fù)式真空泵的主要部件是氣缸1及在其中作往復(fù)直線運(yùn)動的活塞2,活塞的驅(qū)動是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)3(包括十字頭)來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5等重要部件,以及機(jī)座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),在電動機(jī)的驅(qū)動下,通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用(旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)變成直線運(yùn)動),使氣缸內(nèi)的活塞作往復(fù)運(yùn)動。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動時(shí),由于氣缸的左腔體積不斷增大,左腔空間的壓強(qiáng)不斷的降低,當(dāng)左腔空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng),根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理,被抽容器內(nèi)的氣體經(jīng)過吸氣閥5不斷地被抽進(jìn)左腔,此時(shí)正處于吸氣過程。當(dāng)活塞達(dá)到右位置時(shí),氣缸左腔內(nèi)就充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運(yùn)動,此時(shí)吸氣閥5自動關(guān)閉。氣體隨著活塞從右往左運(yùn)動而逐漸被壓縮。當(dāng)氣缸內(nèi)的氣體達(dá)到排氣壓力時(shí),此時(shí)排氣閥4被打開,氣體被排出,完成了一個工作循環(huán)。當(dāng)活塞在從左端向右端運(yùn)動時(shí),重復(fù)上述循環(huán),如此反復(fù)下去,被抽容器內(nèi)終達(dá)到某一穩(wěn)定的平衡壓力為提高抽氣效率,一般在氣缸的兩端均設(shè)有吸氣閥和排氣閥,然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯(lián)起來。


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什么叫流量?用什么字母表示?

單位時(shí)間內(nèi)泵排出液體的體積叫流量,流量用Q表示,計(jì)量單位:立方米/小時(shí)(m3/h),升/秒(l/s), L/s=3.6 m3/h=0.06m3/min=60L/min


G=Qρ G為重量 ρ為液體比重


例:某臺泵流量50 m3/h,求抽水時(shí)每小時(shí)重量?水的比重ρ為1000公斤/立方米。


解:G=Qρ=50×1000(m3/h·kg/ m3)=50000kg / h=50t/h

七、什么叫揚(yáng)程?用什么字母表示?

單位重量液體通過泵所獲得的能量叫揚(yáng)程。泵的揚(yáng)程包括吸程在內(nèi),近似為泵出口和入口壓力差。揚(yáng)程用H表示,單位為米(m)。泵的壓力用P表示,單位為Mpa(兆帕),H=P/ρ.如P為1kg/cm2,則H=(lkg/cm2)/(1000kg/ m3) H=(1kg/ cm2)/(1000公斤/m3)=(10000公斤/m2)/1000公斤/m3=10m
 





什么是泵的特性曲線?

通常把表示主要性能參數(shù)之間關(guān)系的曲線稱為離心泵的性能曲線或特性曲線,實(shí)質(zhì)上,離心泵性能曲線是液體在泵內(nèi)運(yùn)動規(guī)律的外部表現(xiàn)形式,通過實(shí)測求得。特性曲線包括:流量-揚(yáng)程曲線(Q-H),流量-效率曲線(Q-η),流量-功率曲線(Q-N),流量-汽蝕余量曲線(Q-(NPSH)r),性能曲線作用是泵的任意的流量點(diǎn),都可以在曲線上找出一組與其相對的揚(yáng)程,功率,效率和汽蝕余量值,這一組參數(shù)稱為工作狀態(tài),簡稱工況或工況點(diǎn),離心泵點(diǎn)的工況稱為工況點(diǎn),工況點(diǎn)一般為設(shè)計(jì)工況點(diǎn)。一般離心泵的額定參數(shù)即設(shè)計(jì)工況點(diǎn)和工況點(diǎn)相重合或很接近。在實(shí)踐選效率區(qū)間運(yùn)行,即節(jié)能,又能保證泵正常工作,因此了解泵的性能參數(shù)相當(dāng)重要。




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