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磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過(guò)程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過(guò)程,和靶原子碰撞,把部分動(dòng)量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成級(jí)聯(lián)過(guò)程。在這種級(jí)聯(lián)過(guò)程中某些表面附近的靶原子獲得向外運(yùn)動(dòng)的足夠動(dòng)量,離開(kāi)靶被濺射出來(lái)。
種類
磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應(yīng)用對(duì)象。但有一共同點(diǎn):利用磁場(chǎng)與電子交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運(yùn)行,從而增大電子撞擊氬氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)作用下撞向靶面從而濺射出靶材。
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靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結(jié)合力強(qiáng)。平衡靶源多用于半導(dǎo)體光學(xué)膜,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場(chǎng)位形分布不同,大致可分為平衡態(tài)和非平衡磁控陰極。平衡態(tài)磁控陰極內(nèi)外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電,靶材利用率相對(duì)較高,但由于電子沿磁力線運(yùn)動(dòng)主要閉合于靶面,基片區(qū)域所受離子轟擊較小.非平衡磁控濺射技術(shù)概念,即讓磁控陰極外磁極磁通大于內(nèi)磁極,兩極磁力線在靶面不完全閉合,部分磁力線可沿靶的邊緣延伸到基片區(qū)域,從而部分電子可以沿著磁力線擴(kuò)展到基片,增加基片區(qū)域的等離子體密度和氣體電離率.不管平衡非平衡,若磁鐵靜止,其磁場(chǎng)特性決定一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率,可采用旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)。但旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)需要旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),同時(shí)濺射速率要減小。旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)多用于大型或貴重靶。如半導(dǎo)體膜濺射。對(duì)于小型設(shè)備和一般工業(yè)設(shè)備,多用磁場(chǎng)靜止靶源。
平衡軸技術(shù)(上圖中白色線框內(nèi)所示結(jié)構(gòu))是一項(xiàng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單并且非常實(shí)用發(fā)動(dòng)機(jī)技術(shù),它可以有效減緩整車(chē)振動(dòng),提高駕駛的舒適性。也許有的消費(fèi)者會(huì)問(wèn),為什么要在部分引擎里設(shè)計(jì)這個(gè)結(jié)構(gòu)?要搞明白這一問(wèn)題首先我們需要弄清一件事--“發(fā)動(dòng)機(jī)振動(dòng)原理”。
當(dāng)發(fā)動(dòng)機(jī)處在工作狀態(tài)時(shí),活塞的運(yùn)動(dòng)速度非???,而且速度很不均勻。當(dāng)活塞位于上下止點(diǎn)位置時(shí),其速度為零,但在上下止點(diǎn)中間位置的速度則達(dá)到。由于活塞在氣缸內(nèi)做反復(fù)的高速直線運(yùn)動(dòng),因此必然會(huì)在活塞、活塞銷和連桿上產(chǎn)生較大的慣性力。雖然連桿上的配重可以有效地平衡這些慣性力,但卻只有一部分運(yùn)動(dòng)質(zhì)量參與直線運(yùn)動(dòng),另一部分參與了旋轉(zhuǎn)。因而除了上下止點(diǎn)位置外,其它慣性力并不能完全達(dá)到平衡狀態(tài),此時(shí)的發(fā)動(dòng)機(jī)便產(chǎn)生了振動(dòng)。
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和手動(dòng)擋相比,自動(dòng)變速箱在結(jié)構(gòu)和使用上有很大不同。手動(dòng)擋主要通過(guò)調(diào)節(jié)不同齒輪組合來(lái)更換擋位,而自動(dòng)變速箱是通過(guò)液力傳遞和齒輪組合的方式來(lái)達(dá)到變速的目的。其中液力變扭器是自動(dòng)變速箱特點(diǎn)的部件,它由泵輪、渦輪和導(dǎo)輪等構(gòu)件組成,泵輪和渦輪是一對(duì)工作組合,泵輪通過(guò)液體帶動(dòng)渦輪旋轉(zhuǎn),而泵輪和渦輪之間的導(dǎo)輪通過(guò)反作用力使泵輪和渦輪之間實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速差并實(shí)現(xiàn)變速變矩功能,對(duì)駕駛者來(lái)說(shuō),您只需要以不同力度踩住踏板,變速箱就可以自動(dòng)進(jìn)行擋位升降。由于液力變矩器自動(dòng)變速變矩范圍不夠大,因此在渦輪后面再串聯(lián)幾排行星齒輪,液壓操縱系統(tǒng)會(huì)隨發(fā)動(dòng)機(jī)工作變化自行操縱行星齒輪,從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)變速變矩。為了滿足行駛過(guò)程中的多種需要(如泊車(chē)、倒車(chē))等,自動(dòng)變速箱還設(shè)有一些手動(dòng)撥桿位置,像P擋(停泊)、R擋(后擋)、N擋(空擋)、D擋(前進(jìn))等。
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