氦質(zhì)譜撿漏儀檢漏方法

氦質(zhì)譜檢漏儀，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。在質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。

檢漏的重要性

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種精度很高的不停機(jī)查漏儀器，具有靈敏度高、抗干擾、不污染環(huán)境(以前的鹵素檢漏污染環(huán)境)、不危及安全生產(chǎn)(以前的燭光法不適用于氫冷發(fā)電機(jī))等優(yōu)點。泄漏和密封相對應(yīng)，很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等)，需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等)，要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?br />

氦質(zhì)譜檢漏的原理

氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力測量原理，實現(xiàn)被檢件的氦泄漏量測量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，泄漏出來的氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在獲得氦氣信號值的基礎(chǔ)上，通過標(biāo)準(zhǔn)漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。

正壓法氦質(zhì)譜檢漏的優(yōu)缺點

正壓法的優(yōu)點是不需要輔助的真空系統(tǒng)，可以準(zhǔn)確定位，實現(xiàn)任何工作壓力下的檢測。

正壓法的缺點是檢測靈敏度較低，檢測結(jié)果不確定度大，受測量環(huán)境條件影響大。

正壓法的檢測標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3089-1999《氦質(zhì)譜正壓檢漏方法》、QJ2862-1996《壓力容器焊縫氦質(zhì)譜吸槍罩盒檢漏試驗方法》，主要應(yīng)用于大容積高壓密閉容器產(chǎn)品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。