手動式三維測量儀操作者用手握住主軸使其沿著軸移動。測量時，需注意探頭與工件間測量壓力、及探頭移動因加速度所造成軸產(chǎn)生彎曲導致的一些測量數(shù)據(jù)的誤差。馬達驅(qū)動式三維測量儀馬達驅(qū)動式三維測量儀一般可由游戲桿控制。它具有高測量精度、操作起來相對手動式比較容易、且提供教導式測量等優(yōu)點。CNC式三維測量儀CNC式三維測量儀除了具有馬達驅(qū)動式的功能之外，還可自動依照計算機所預先設定的程序執(zhí)行測量，甚至有些廠商出品的三維測量儀，也提供了自動裝拆工件。