高溫爐工作流程介紹

使用高溫爐要嚴(yán)格按照安全操作流程來做，確保人員的安全和避免爐體，工件的損壞。

一、 工作前的流程

1、 檢查爐內(nèi)是否干凈，清理雜物，確保爐內(nèi)干凈。

2、 檢查爐壁，爐底板是否有破或裂等損壞。

3、 電阻絲和熱電偶引出棒的安裝緊固情況，檢查儀表是否正常。

4、 檢查電阻爐爐門開關(guān)是否靈活。

5、 確保各項(xiàng)正常以后，開始放工件。

高溫爐的使用

安裝完成，接通電源，打開控制器電源開關(guān)，將溫度調(diào)節(jié)儀表設(shè)定至所需溫度，此時(shí)儀表綠燈亮，表示加熱開始，并且電流表根據(jù)功率大小，相應(yīng)的產(chǎn)生讀數(shù)，調(diào)節(jié)儀表指示溫度也同時(shí)上升，當(dāng)溫度升到設(shè)定溫度時(shí)，調(diào)節(jié)儀表自動(dòng)切斷電源，紅燈亮，電流表指示歸“零”，高溫爐的使用技巧即表示加溫停止。調(diào)節(jié)儀表“紅”“綠”、指示燈交替工作，使儀器達(dá)到恒溫狀態(tài)。

高溫爐在日常的工作當(dāng)中使用概率是比較頻繁的，那么像頻繁使用的設(shè)備，必要的保養(yǎng)工作就是必不可少的了。定期對(duì)高溫爐進(jìn)行清洗，清洗方法有用保護(hù)氣體趕出爐膛內(nèi)空氣法和用真空泵預(yù)抽真空法兩種。

用真空泵預(yù)抽真空法：

（1）把任何一個(gè)出氣嘴與真空用軟管連接起來；

（2）對(duì)爐腔進(jìn)行預(yù)抽真空；

（3）通入保護(hù)氣體；

（4）再對(duì)爐腔進(jìn)行預(yù)抽真空。

高溫爐操作規(guī)程大致可分為以下幾點(diǎn)：

一、裝料

1.將石墨坩堝放置于輸送車平臺(tái)上，使用限位桿斷定其方位，五大操作規(guī)程順次裝入硅料。

2.拔出限位桿，輸送車開關(guān)打至 IN，順次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，將坩堝裝入爐膛內(nèi)，并斷定輸送車會(huì)到初始方位。

3.裝入石墨蓋板，擰緊石墨螺栓，關(guān)緊爐門

二、 抽氣

1.查看爐門是不是關(guān)緊，真空體系是不是密封

2.置 DP 按鈕于 DP ON，翻開干式真空泵，翻開真空計(jì)開關(guān) P1G1，翻開干式真空泵 。閥門，開端抽氣測驗(yàn)走漏率，

3.當(dāng)壓力表指示為 50Pa是封閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min，翻開Ar閥門充Ar(20L/min)。

4.加熱 先翻開水環(huán)泵 再按 RUN，開端技術(shù)加熱。