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在芯片制造領(lǐng)域,光刻機(jī)和蝕刻機(jī)一直是芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵。在業(yè)界有個(gè)形象的比喻,光刻機(jī)是芯片制造的魂,蝕刻機(jī)是芯片制造的魄,如果要想制造的芯片,這兩個(gè)東西都必須。
而在光刻機(jī)方面,與世界的7nm制程都相去甚遠(yuǎn)。不管三星、英特爾還是臺(tái)積電在芯片制程工藝方面如何去競(jìng)爭(zhēng),但ASML終究是背后霸主,贏家,因?yàn)樗麄冋l(shuí)都離不開(kāi)他的EUV光刻機(jī)。而國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)還在路上,目前我國(guó)已經(jīng)能夠使用365納米波長(zhǎng)的光生產(chǎn)22納米工藝的芯片,這在全世界尚無(wú)先例,它也被稱為世界上首臺(tái)分辨力的紫外超分辨光刻裝備。這也意味著國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)可以使用低成本光源,實(shí)現(xiàn)了更高分辨力的光刻。
光刻機(jī)的工作原理是在硅片上涂上一層均勻的光刻膠,這種膠狀物,只能被光腐蝕,而不能被化學(xué)物質(zhì)腐蝕,然后利用紫外線照在上面,其中還包含了編碼,用光把不需要的地方腐蝕掉,用光刻技術(shù)制作出自己需要的圖形。蝕刻機(jī)被用來(lái)在光刻機(jī)“復(fù)印”到晶圓的電路輪廓上進(jìn)行雕刻,蝕刻出“山地和溝壑”,形成柵極,也就是常說(shuō)的晶體管。便于大家理解,簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),光刻機(jī)是在一塊木頭上作了一幅畫,而蝕刻機(jī)就是根據(jù)光刻機(jī)的畫雕刻出3D的作品。但實(shí)際上過(guò)程并不是我們形容的那么簡(jiǎn)單。目前我國(guó)中微半導(dǎo)體在蝕刻機(jī)方面也是取得了重大成果。
金屬蝕刻就是先在基板上用絲印或網(wǎng)印的方式把基板上需要保護(hù)的部位遮住,然后用化學(xué)或電化學(xué)方式侵蝕掉不需要的部位,后退去保護(hù)膜,得到制品的一種加工方式。
是生產(chǎn)標(biāo)牌、電路板、金屬工藝品、金屬版畫等過(guò)程中的關(guān)鍵步驟。的技術(shù)工業(yè)生產(chǎn)應(yīng)用是在印刷絲路版,因絲路板的絲線細(xì)而密,機(jī)械加工很難完成。不同的金屬材料,性質(zhì)各不相同,蝕刻圖型的精度不同,蝕刻深度不同,所采用的蝕刻方法、工藝以及所用蝕刻液的配方大不一樣,所采用的感光抗蝕材料也各不相同。