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膜厚儀具有測量誤差小、可靠性高、穩(wěn)定性好、操作簡便等特點,是控制和保證產品質量必不可少的檢測儀器,廣泛地應用在制造業(yè)、金屬加工業(yè)、化工業(yè)、商檢等檢測領域。
考慮到表面粗糙度測量的膜厚值[FE-0007]
當樣品表面存在粗糙度(粗糙度)時,將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。
如果膜厚測試儀已經(jīng)進行了適當?shù)男?,所有的測量值將保持在一定的誤差范圍內;根據(jù)統(tǒng)計學的觀點,一次讀數(shù)是不可靠的。因此任何由膜厚測試儀顯示的測量值都是五次“看不見”的測量的平均值。這五次測量是在幾分之一秒的時間內由探頭和儀器完成的。