該裝置由汽化爐、分解爐、重合室這3個部分組成，在重合室中放置對象物品，在汽化爐中放置Parylene (粉體)。

       在裝置內(nèi)進行減壓操作后，升高汽化爐的溫度（120~180℃），使Parylene升華。 通過真空泵將該氣體引導至蒸汽粘合室，通過高溫（650~700℃）分解爐后，生成熱分解單體。該單體在室溫狀態(tài)下的重合室內(nèi)與對象物品相接觸，其含有的熱量被傳導后在對象物品的表面進行聚合，形成高分子量的聚對二樹脂膜。

      普通真空鍍膜時，在工件表面與鍍層之間幾乎沒有連接的過渡層，好似截然分開。而離子鍍時，離子高速轟擊工件時，能夠穿透工件表面，形成一種注入基體很深的擴散層，離子鍍的界面擴散深度可達四至五微米，對離子鍍后的試件作拉伸試驗表明，一直拉到快要斷裂時，鍍層仍隨基體金屬一起塑性延伸，無起皮或剝落現(xiàn)象發(fā)生，可見附著多么牢固，膜層均勻，致密。

       離子鍍時，蒸發(fā)料粒子是以帶電離子的形式在電場中沿著電力線方向運動，因而凡是有電場存在的部位，均能獲得良好鍍層，這比普通真空鍍膜只能在直射方向上獲得鍍層優(yōu)越得多。因此，這種方法非常適合鍍復零件上的內(nèi)孔、凹槽和窄縫。等其他方法難鍍的部位。用普通真空鍍膜只能鍍直射表面，蒸發(fā)料粒子尤如攀登云梯一樣，只能順梯而上；而離子鍍則能均勻地鍍到零件的背面和內(nèi)孔中，帶電離子則好比坐上了直升飛機，能夠沿著規(guī)定的航線飛抵其活動半徑范圍內(nèi)的任何地方。

       密封樹脂以多種不同的化學類型出現(xiàn)，包括環(huán)氧樹脂、聚氨酯和硅樹脂。通常，環(huán)氧樹脂在機械影響方面提供更堅固的保護，但是它們沒有其它化學品的柔性，這可能導致熱循環(huán)期間的問題。此外，標準環(huán)氧樹脂系統(tǒng)不能提供其他系統(tǒng)的清晰度和顏色穩(wěn)定性。

       樹脂確實有的透明度，并且在溫度下表現(xiàn)良好，而聚氨酯樹脂在惡劣環(huán)境中提供良好的柔韌性、透明度和高水平的保護。我們做了實驗得出：三種樹脂化學類型在暴露在紫外線1000小時后，通過檢查樹脂的顏色差異，三種樹脂化學類型的透明度差異，從而突出了每種樹脂在室外條件下的穩(wěn)定性。硅樹脂和聚氨酯樹脂顯然優(yōu)于標準環(huán)氧樹脂體系。