原子層沉積（ALD）是一種沉積原子級(jí)薄膜的技術(shù)，它是以一種連續(xù)脈沖的方式在樣品表面和反應(yīng)前驅(qū)體材料之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。與傳統(tǒng)的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）技術(shù)相比，沉積速率相對(duì)較慢，但是它可在高深寬比的溝槽和通孔結(jié)構(gòu)上沉積均勻薄膜。另外，在原子層沉積過(guò)程中，樣品表面上沒(méi)有物理和電學(xué)損傷，而在PECVD過(guò)程中由于離子轟擊這種損傷卻不可避免。此外，通過(guò)使用不同的反應(yīng)材料可沉積各種薄膜（氧化物，氟化物，氮化物，金屬等）。

       超聲波霧化噴涂設(shè)備的工作原理是通過(guò)將高頻超聲波轉(zhuǎn)變成機(jī)械振動(dòng)，超聲波霧化噴嘴霧化液滴極其細(xì)小，為微米大小的液滴。這些霧化液滴具有非常精密分布的特點(diǎn)，并且霧化液滴的粒子大小由超聲波工作時(shí)的頻率所決定的，頻率越大其霧化液滴粒子月細(xì)小。超聲波霧化噴涂設(shè)備能夠連續(xù)地將功能性液體均勻的分散在被處理器件表面，產(chǎn)生功能性薄膜涂層。

       超聲波霧化噴涂設(shè)備因其霧化噴涂的涂層均勻、致密、超薄，能夠?qū)崿F(xiàn)用少的材料噴涂更多的傳感器，為公司節(jié)約大量成本等優(yōu)勢(shì)已逐漸投入市場(chǎng)并大范圍使用。

        Parylene涂層也用于硅橡膠鍵盤(pán)。Parylene涂層也用于硅橡膠鍵盤(pán)，防止印刷圖案，抵抗表面磨損，解決粘性問(wèn)題，同時(shí)保護(hù)鍵盤(pán)免受污垢，灰塵和油污。所施加的膜具有高介電強(qiáng)度，并且不損害下面的橡膠組分的電絕緣性能。Parylene提供無(wú)細(xì)孔，防止潮濕，腐蝕性體液，常見(jiàn)氣體，抑菌和溫度。增加涂層厚度可進(jìn)一步提高化學(xué)耐受性和耐溶劑性，而不會(huì)增加重量或?qū)嵸|(zhì)上影響基板的彈性。此外，聚對(duì)二薄膜可以除去硅橡膠的粘性，使硅橡膠表面更潤(rùn)滑，改變硅橡膠按鍵的手感。由于厚度薄，聚對(duì)二薄膜是透明或接近透明的，對(duì)按鍵的外觀和尺寸沒(méi)有影響。