真空泵轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的振動(dòng)機(jī)理

  理論研究和試驗(yàn)表明，轉(zhuǎn)子與精致件發(fā)生軸向摩擦?xí)r，真空泵轉(zhuǎn)子的振動(dòng)特征幾乎與正常狀況一致，沒有明顯的異常特征，所以診斷軸向摩擦?xí)r，不能用波形、軸心軌跡和頻譜方法去識(shí)別，必須尋求新的銘感參數(shù)。

  真空泵軸向干摩擦力與旋轉(zhuǎn)速度有關(guān)，由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對(duì)下降，同時(shí)有高頻成分出現(xiàn)，所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。軸向干摩擦力的打小正比于轉(zhuǎn)子與靜止間的干摩擦因數(shù)和軸向力。軸向干摩擦阻尼遠(yuǎn)大于徑向摩擦

阻尼，由于軸向干摩擦?xí)鹣到y(tǒng)阻尼的顯著增加，因此系統(tǒng)阻尼的變化可作為軸向摩擦的識(shí)別特征。

  另外，摩擦?xí)斐沙晒纳仙托氏陆担瑫r(shí)局部會(huì)有溫升，因此工藝參數(shù)對(duì)轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要

Edward愛德華EH1200羅茨泵維修保養(yǎng) 漏氣，有點(diǎn)卡死

EH1200是德國Edward愛德華EH系列羅茨泵，這款泵是比較大的，羅茨泵不能單獨(dú)使用，一般是可以搭配螺桿泵或者旋片泵使用。其他進(jìn)口螺桿真空泵維修型號(hào)：EH250，EH500，EH1200, EH2600，EH4200

提供進(jìn)口羅茨泵維修保養(yǎng)，維修品牌包括：萊寶、愛德華、Aerzen, Kaesser, Dresser, Hibon, Robuschi, RKR等進(jìn)口品牌；羅茨泵維修提供萊寶WSU系列、WAU系列和愛德華EH系列等；

愛德華羅茨泵維修因?yàn)榻Y(jié)構(gòu)不一樣，所以它和油封封E2M80的維修方法有點(diǎn)不一樣，出現(xiàn)的故障也不一樣。像羅茨泵一般會(huì)出現(xiàn)的問題是

1.發(fā)熱、

2.卡死、

3.抽氣量不足、

4.性能不穩(wěn)定、

5.噪音大等故障；

溫馨提示：如果愛德華EH1200羅茨泵漏氣，有點(diǎn)卡死，記得致電專業(yè)的羅茨真空泵維修廠家，不可擅自處理，以免引起其他不良的故障反應(yīng)。

半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。大多數(shù)制造商都采用溶劑精煉制程，而這些油則采用獨(dú)特的濕法處理制程生產(chǎn)。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對(duì)這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價(jià)值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因?yàn)檩p型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。雙位氣鎮(zhèn)與回油附件和油霧過濾器結(jié)合使用，可持續(xù)抽排而不減少潤滑。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動(dòng)的清潔真空對(duì)于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運(yùn)行時(shí)間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。型號(hào)：RV3、RV5、RV8、RV12●中型EM系列泵是結(jié)實(shí)耐用的機(jī)械油封泵，抽速為18和28m3/hr。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險(xiǎn)并延長 維修間隔。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。