亂流式 (Turbulent Flow)

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板亂流式回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再啟動，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。

對于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過程。

從確保潔凈室內(nèi)相對濕度的精度而言，上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高，故當(dāng)潔凈室內(nèi)相對濕度精度要求≤±10%時一般不采用。而采用噴干蒸汽和電熱（電極）式加濕的方法。噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個噴蒸汽效率的問題，并非噴入空調(diào)箱內(nèi)的蒸汽全部加入到空調(diào)送風(fēng)中，而其中有一部分變成凝結(jié)水排放出來。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。因此，選擇干蒸汽加濕的加濕量時應(yīng)考慮其噴蒸的效率。有的廠家給出的噴蒸效率為70%。

2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之水冷柜機 增壓風(fēng)柜 送風(fēng)口與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小機房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機房內(nèi)或吊在機房內(nèi)或在夾層內(nèi)。紊流主要決定于雷諾數(shù)，也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風(fēng)形式，則即使流速極低，也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果，這就因為它是一個突變流和非均勻流。

優(yōu)點：A.空氣處理效果較好的，處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風(fēng)柜)里進行控制;B.布置靈活。亂流式(TurbulentFlow)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板亂流式回風(fēng)。自帶冷源;C.大小廠房、新舊廠房都適用;D.維修頻率較低;E.車間噪音低。

缺點：A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔 [1]  、冷卻水泵的擺放位置;B.空調(diào)機組與空調(diào)處理機組要集中布置;C.造價較低。

特點：這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。

潔凈廠房和周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設(shè)備（包括水泵等）及其通往潔凈室的管道，應(yīng)采取積極隔振措施。

　對潔凈廠房內(nèi)外各類振源，應(yīng)測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。如受條件限制，也可根據(jù)經(jīng)驗對綜合振動影響進行評價。并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表的允許環(huán)境振動值進行比較，以確定對其采取必要的田振措施。

　　精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施，應(yīng)考慮減少發(fā)塵量、保持潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。當(dāng)采用空氣的彈簧隔振臺座時，應(yīng)對氣溫進行處理，使其達到潔凈室的空氣潔凈度等級。