高溫束源爐的特點(diǎn)

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溫度控制和均勻的基于SCR 功率輸出電源實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的沉積速率控制，并確保高質(zhì)量的，均勻的膜。

◆ 使用PID 控制器進(jìn)行溫度控制，控制在±1℃

◆ 自動(dòng)調(diào)節(jié)模式

◆ 可調(diào)節(jié)報(bào)警條件

◆ 速率控制輸入與沉積控制相兼容

加熱樣品臺(tái)的設(shè)計(jì)原理

設(shè)計(jì)原理為：將樣品槽設(shè)置在中空腔中，中空腔中通入熱空氣對(duì)樣品槽進(jìn)行加熱，從而對(duì)樣品進(jìn)行傳熱加熱，而隨著熱空氣裝置不斷向中空腔中通入空氣，中空腔中的壓力會(huì)增大，從而通過(guò)泄壓口向氣管排氣，排出的氣體會(huì)通過(guò)氣管到達(dá)多孔頭，從而對(duì)樣品容器通入熱空氣，一方面熱空氣對(duì)樣品容器中的樣品進(jìn)行加熱，另一方面還能起到空氣攪拌的作用。改進(jìn)后的可旋轉(zhuǎn)電子束加熱樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，工作穩(wěn)定可靠，加熱室密封性好，樣品得到旋轉(zhuǎn)加熱，受熱均勻，有效提高設(shè)備加熱效率。

熱空氣裝置包括空壓機(jī)、加熱箱和管道，空壓機(jī)通過(guò)所述管道與所述加熱箱連通，加熱箱通過(guò)管道與所述中空腔連通，空壓機(jī)產(chǎn)生的空氣通過(guò)管道進(jìn)入到加熱箱中進(jìn)行加熱，并經(jīng)管道通入到中空腔中。

如需了解更多加熱樣品臺(tái)的相關(guān)信息，歡迎關(guān)注沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司網(wǎng)站或撥打圖片上的熱點(diǎn)電話(huà)，我司會(huì)為您提供專(zhuān)業(yè)、周到的服務(wù)。

濺射靶材的種類(lèi)

濺射靶材的種類(lèi)較多,即使相同材質(zhì)的濺射靶材也有不同的規(guī)格。按照不同的分類(lèi)方法,能夠?qū)R射靶材分為不同的類(lèi)別,主要分類(lèi)情況如下:

按形狀分類(lèi):長(zhǎng)靶、方靶、圓靶

按化學(xué)成份分類(lèi):金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)

按應(yīng)用領(lǐng)域分類(lèi):半導(dǎo)體芯片靶材、平面顯示器靶材、太陽(yáng)能電池靶材、信息存儲(chǔ)靶材、I具改性靶材、電子器件靶材、其他靶材。

表面原子發(fā)生動(dòng)能交換,使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體 是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱(chēng)為濺射靶材。

沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)、銷(xiāo)售磁控靶材，我們公司堅(jiān)持用戶(hù)為上帝，想用戶(hù)之所想，急用戶(hù)之所急，以誠(chéng)為本，講求信譽(yù)，以產(chǎn)品求發(fā)展，以質(zhì)量求生存，我們熱誠(chéng)地歡迎各位同仁合作共創(chuàng)輝煌。

靶材鍍膜前的清潔

在進(jìn)行鍍膜前都必須將基片進(jìn)行清潔,對(duì)于在線(xiàn)鍍膜來(lái)說(shuō),這是很小的事情,但對(duì)離線(xiàn)鍍膜來(lái)說(shuō)卻相當(dāng)重要,而且操作起來(lái)也比較困難，對(duì)于大面積的鍍膜來(lái)說(shuō),將玻璃基片完全清潔干凈是不可能的,因此,如何達(dá)到鍍膜所必須要求的潔凈程度就變得非常重要。要保持清潔程度足夠高,如果清潔程度不夠,膜層容易老化,甚至脫膜等現(xiàn)象。通過(guò)設(shè)置緩沖室和溫度傳感器，能夠?qū)崟r(shí)、準(zhǔn)確的監(jiān)測(cè)加熱電極流出的冷卻水的溫度，并及時(shí)反饋，為熔銅爐的正常工作提供了安全保障。不同用途,不同加工工藝的膜層對(duì)清潔程度要求是不一樣的,對(duì)于目前我司生產(chǎn)的玻璃來(lái)說(shuō), Low-E玻璃要求的玻璃潔凈度不如熱反射玻璃高。目前要為鍍膜準(zhǔn)備大面積的鍍膜玻璃基片，主要采用的是一 種濕式清潔技術(shù),這種技術(shù)包括三部分:

1.松動(dòng)玻璃表面的雜質(zhì)

2.去除已經(jīng)松動(dòng)的、分離的雜質(zhì)

3.干燥已經(jīng)清潔的玻璃表面

沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司本著多年真空配件與零件行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，專(zhuān)注真空配件與零件研發(fā)定制與生產(chǎn)，先進(jìn)的真空配件與零件生產(chǎn)設(shè)備和技術(shù)，建立了嚴(yán)格的產(chǎn)品生產(chǎn)體系，想要更多的了解，歡迎咨詢(xún)圖片上的熱線(xiàn)電話(huà)?。。?span style="text-align:center;text-indent:2em;">