進(jìn)口真空泵維修

是采用自主研發(fā)的真空泵，它低速轉(zhuǎn)動(dòng)連續(xù)排氣，真空度可達(dá)到１０-1Pa，它可稱為是劃時(shí)代的真空泵。實(shí)現(xiàn)了極限真空度的全球最低泵浦轉(zhuǎn)速.從吸氣起到排氣采用非接觸單段壓縮，其特點(diǎn)是可以地排除空氣或煤氣中所含有的粉塵霧粒，廣泛用于半導(dǎo)體，液晶，太陽(yáng)能電池，，化工等真空行業(yè)。單級(jí)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于保養(yǎng)和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。

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1、軸封、軸套漏油，拆下端蓋更換。

2、散熱器漏油，取下散熱器，查看散熱器進(jìn)出口的O型圈是否硬化。

3、油管螺絲漏油。

4、泵體與油箱連接處漏油。

5、前后端蓋漏油。

真空泵維修經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的使用工作后，還會(huì)出現(xiàn)以下問(wèn)題：

1、真空泵排氣口冒煙

2、真空泵噴油、漏油

3、真空泵噪音超標(biāo)

4、真空度下降

5、真空泵發(fā)燙等現(xiàn)象 。

因此，大家在使用真空泵時(shí)應(yīng)注重日常保養(yǎng)，這樣就會(huì)避免出現(xiàn)更多的問(wèn)題。

然后是材料表面解吸的氣體，材料內(nèi)部向表面擴(kuò)散出來(lái)的氣體已通過(guò)器壁滲透到真空中的氣體。解吸及擴(kuò)散表面再解吸氣體的衰減速率非常緩慢，需要時(shí)間很長(zhǎng)。一臺(tái)金屬密封的不烘烤的真空系統(tǒng)，計(jì)算表明，要達(dá)到超高真空所需大約108H，可見(jiàn)不采用烘烤技術(shù)想得到超高真空是很困難的。

每一年檢查：（1），軸承是否磨損。（2），活塞環(huán)及活塞環(huán)襯套是否磨損。（3），齒輪微量程度的磨損對(duì)轉(zhuǎn)子正常工作是否產(chǎn)生影響，是否需要調(diào)整。故障原因及其消除方法，極限壓力達(dá)不到? 管道、系統(tǒng)漏氣? 泵部分漏氣? 前級(jí)泵極限壓力下降? 潤(rùn)滑油太臟或牌號(hào)不對(duì)? 油封磨損? 系統(tǒng)檢漏? 對(duì)泵檢漏? 修理或更換前級(jí)泵? 調(diào)換潤(rùn)滑油? 調(diào)換油封