氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是什么？

檢漏儀主要的目的是檢查一個(gè)真空腔體各個(gè)密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個(gè)密封腔體內(nèi)充滿氦氣，用質(zhì)譜檢漏儀在不腔體外，不同部位檢測(cè)，如果密封存在問題，則有氦氣泄漏，被質(zhì)譜儀檢測(cè)到。質(zhì)譜檢漏儀是一種簡(jiǎn)易的質(zhì)譜儀，對(duì)分辨率和檢測(cè)的質(zhì)量范圍要求很低，但對(duì)靈敏度要求較高。其實(shí)各個(gè)種類的質(zhì)譜儀都可用來作為檢漏質(zhì)譜儀。

    

氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)

氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說是一個(gè)檢氦儀，通過檢測(cè)氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測(cè)氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。氦質(zhì)譜檢漏儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，氦質(zhì)譜檢漏儀才能穩(wěn)定正常工作。

氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)

氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜室正常工作所需要的真空條件，不同型號(hào)的氦質(zhì)譜檢漏儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。

1、檢漏閥：接在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。有些氦質(zhì)譜檢漏儀采用節(jié)流閥，控制流入質(zhì)譜室的氣體流量。

2、真空規(guī)：一般采用冷陰極磁控放電直空規(guī)(潘寧規(guī)，又稱冷規(guī))來測(cè)量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測(cè)量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級(jí)壓力的。

3、標(biāo)準(zhǔn)漏孔：一般氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔(大多為薄膜滲氦型)，用它來校準(zhǔn)氦質(zhì)譜檢漏儀的Z小可檢漏率和對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。

真空法氦質(zhì)譜檢漏的優(yōu)缺點(diǎn)

真空法的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3123-2000《氦質(zhì)譜真空檢漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗(yàn)》，主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設(shè)備等。

真空法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，可以準(zhǔn)確定位，能實(shí)現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法的缺點(diǎn)是只能實(shí)現(xiàn)一個(gè)大氣壓差的漏率檢測(cè)，不能準(zhǔn)確反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實(shí)泄漏狀態(tài)。