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ST系列鍍膜機(jī)
ST系列鍍膜機(jī)系我司標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品,滿足大部分實(shí)驗(yàn)室科研需求,豐富的可選配置也可響應(yīng)您的特殊需要。特點(diǎn):1、集成一體化結(jié)構(gòu)。
2、極限真空度高,可達(dá)7×10-5Pa,可保證更高的鍍膜純凈度,提高鍍膜質(zhì)量。
3、從大氣到工作背景真空(7×10-4Pa)時(shí)間短,30分鐘左右(充干燥氮?dú)猓?系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度:≤8Pa。
4、整機(jī)采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。
5、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選。
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薄膜均勻性概念
1.厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長(zhǎng)作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好,可以輕松將粗糙度控制在可見(jiàn)光波長(zhǎng)的1/10范圍內(nèi),也就是說(shuō)對(duì)于薄膜的光學(xué)特性來(lái)說(shuō),真空鍍膜沒(méi)有任何障礙。一、真空主體——真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應(yīng)用的有直徑1。 但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就是說(shuō)要實(shí)現(xiàn)10A甚至1A的表面平整,具體控制因素下面會(huì)根據(jù)不同鍍膜給出詳細(xì)解釋。
2.化學(xué)組分上的均勻性: 就是說(shuō)在薄膜中,化合物的原子組分會(huì)由于尺度過(guò)小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過(guò)程不科學(xué),那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。但在鍍鎘中含有氫,所以在飛行過(guò)程中,受到大氣、海水的腐蝕,鍍層上容易產(chǎn)生“鎘脆”,甚至引起“空難”。 具體因素也在下面給出。
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真空鍍膜機(jī)鍍制薄膜不均勻的解決方法
制的薄膜的均勻性都會(huì)受到某種因素影響。真空狀態(tài)需要抽氣系統(tǒng)來(lái)控制的,每個(gè)抽氣口都要同時(shí)開(kāi)動(dòng)并力度一致,這樣就可以控制好抽氣的均勻性,如果抽氣不均勻,在真空室內(nèi)的壓強(qiáng)就不能均勻了,壓強(qiáng)對(duì)離子的運(yùn)動(dòng)是存在一定的影響的。厚度均勻性主要取決于:1、基片材料與靶材的晶格匹配程度2、基片表面溫度3、蒸發(fā)功率,速率4。另外抽氣的時(shí)間也要控制,太短會(huì)造成真空度不夠,但太長(zhǎng)又浪費(fèi)資源,不過(guò)有真空計(jì)的存在,要控制好還是不成問(wèn)題的。
多功能真空鍍膜機(jī)
真空鍍膜機(jī)工作時(shí),需要先抽真空,使真空室處于真空狀態(tài),再進(jìn)行鍍膜;鍍膜完成后,需要向真空室充氣?,F(xiàn)有技術(shù)中,真空鍍膜機(jī)的充氣管道直接與外界連通,容易把外界空氣中的灰塵帶入真空室,導(dǎo)致鏡片上吸附灰塵,造成產(chǎn)品不良真空蒸渡金屬薄膜是在高真空條件下,以電阻、高頻或電子加熱使金屬熔融氣化,在薄膜基材的表面附著而形成復(fù)合薄膜,其中被鍍金屬材料用的1多的是鋁,在塑料薄膜或紙張表面鍍上一層極薄的金屬鋁即成為鍍鋁薄或鍍鋁紙,在鍍鋁薄膜生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)于真空條件是有嚴(yán)格限定的,真空度過(guò)高或過(guò)低都會(huì)影響鍍膜的性能,目前,工廠里使用的鍍膜機(jī)對(duì)于真空度的控制并不是很穩(wěn)定,導(dǎo)致生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)品的性能不夠穩(wěn)定,因此,解決生產(chǎn)過(guò)程中鍍膜機(jī)里的真空度不易控制的問(wèn)題尤為重要,而且內(nèi)部鍍膜物件的溫度高,需要及時(shí)降溫,提高工作效率。做好這一點(diǎn)可少走好多彎路,其次是要善于分析現(xiàn)象,不能盲目的拆卸。