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微納米氣泡自我壓縮
因?yàn)樽猿鋲汗πШ驮斐煞绞?,因?yàn)闅馀輧?nèi)部和外界中間的壓差,微納米氣泡收攏。收攏健身運(yùn)動(dòng)剛開始時(shí)的氣泡規(guī)格稱之為“限氣泡規(guī)格”。限氣泡直徑在于轉(zhuǎn)化成方式 和周邊液體的特性,不可以沒有理由明確。反復(fù)收攏和融解時(shí),微納米氣泡縮小,終消退。伴隨著氣泡縮小,收攏速率提升,內(nèi)部工作壓力顯著提升。據(jù)報(bào)道,在微納米氣泡消退的時(shí)刻,部分造成超高壓情況,并造成氧自由基。近期,早已注意到,微納米氣泡具備生物活性功效,比如血液和推動(dòng)微生物的生長發(fā)育。據(jù)推斷,這與因?yàn)槲⒓{米氣泡的收攏健身運(yùn)動(dòng)造成的周邊液體的物理學(xué)轉(zhuǎn)變相關(guān)。據(jù)報(bào)道,液體的基礎(chǔ)物理特性比如氫氧根離子濃度值和導(dǎo)電率產(chǎn)生變化。
臭氧微納米氣泡清洗晶片
我想介紹清潔半導(dǎo)體晶片的方法,作為顯示微納米氣泡效果的示例之一。半導(dǎo)體(集成電路)也被稱為工業(yè)大米,是支持現(xiàn)代社會(huì)的的電子組件。用于制造的技術(shù)稱為光刻技術(shù),清潔是制造中非常重要的步驟之一。傳統(tǒng)上,強(qiáng)力化學(xué)藥品已用于清潔半導(dǎo)體晶圓。其中,使用硫酸過氧化物(SPM:硫酸 / 150℃)去除光致抗蝕劑(光敏有機(jī)材料)。盡管這種化學(xué)溶液具有強(qiáng)大的清潔能力,但存在廢物處理和安全問題,因此被認(rèn)為是在室溫附近以“水”為基礎(chǔ)進(jìn)行清潔的理想技術(shù)。因此,我們一直在開發(fā)使用臭氧微納米氣泡的半導(dǎo)體晶片清潔技術(shù)。
微納米氣泡產(chǎn)生自由基
在回到清潔半導(dǎo)體之前,我想介紹另一個(gè)有趣的微納米氣泡現(xiàn)象。 它是自由基的產(chǎn)生。
大約20年前,當(dāng)我開始這項(xiàng)研究時(shí),我使用一種現(xiàn)象作為參考模型。 它是通過超聲波產(chǎn)生的活性物種。 水中的超聲波輻射伴隨著強(qiáng)烈的聲壓波動(dòng),從而導(dǎo)致空化效應(yīng)。 產(chǎn)生微納米氣泡并迅速崩潰(壓碎)。 如上所述,當(dāng)微納米氣泡變小時(shí),內(nèi)部壓力與粒徑成反比地上升。 當(dāng)超聲波產(chǎn)生的微納米氣泡時(shí),內(nèi)部壓力的升高非???,因此認(rèn)為其效果接近絕熱壓縮。 結(jié)果,在的瞬間形成了非常高的溫度場(chǎng),并且溫度迅速升高。 這就是所謂的極限反應(yīng)場(chǎng)的形成,結(jié)果,一部分水分子被熱分解以產(chǎn)生諸如羥基的活性物種。
納米氣泡有個(gè)堅(jiān)硬的殼
但是,從各種現(xiàn)象的分析來看,可能存在直徑大大小于100 nm的納米氣泡。通常,如果在水中會(huì)產(chǎn)生這種微小的氣泡,則氣泡應(yīng)該幾乎立即消失(完全溶解)。但是,在某種程度上含有電解質(zhì)(鹽)的水中,
當(dāng)產(chǎn)生微納米氣泡時(shí),它們中的一些仍作為納米氣泡保留。氣泡的表面電荷被認(rèn)為是穩(wěn)定機(jī)制。當(dāng)氣液界面帶電時(shí),帶有相反符號(hào)的電荷會(huì)聚集在其周圍。這是由于靜電作用造成的,在這種情況下,電荷為離子。由于氣泡在正常的pH條件下帶負(fù)電荷,因此各種陽離子(如Na 和Mg2 )聚集并形成一種“殼”。長期穩(wěn)定的作用仍是一個(gè)謎,但我們認(rèn)為這種電荷的作用會(huì)引起納米氣泡。