氮?dú)狻?strong>高純氮?dú)?/strong>使用操作時(shí)要注意什么：

凡需進(jìn)入處理(檢查或檢修)的設(shè)備，經(jīng)氮?dú)獯祾摺⒅脫Q合格后，還必須用空氣進(jìn)行吹掃、置換，并經(jīng)氣體檢測把關(guān)。其中氣體檢測取樣分析要有代表性，設(shè)備容積較大時(shí)要對上、中、下各部位取樣分析，應(yīng)保證設(shè)備內(nèi)部任何部位的含氧量和可燃?xì)怏w濃度同時(shí)合格(當(dāng)可燃?xì)怏w燃爆極限大于4%時(shí)，指標(biāo)為小于0.5燃爆極限小于4%時(shí)，指標(biāo)為小于0.1；氧含量19.5一23.5%為合格)。注意對設(shè)備內(nèi)部容易積聚或死角的地方進(jìn)行吹掃、置換。用空氣吹掃、置換前，必須關(guān)閉氮?dú)忾y門，拆除連接管線或加盲板隔離。

勿需進(jìn)人處理(檢查或檢修)的設(shè)備，經(jīng)氮?dú)獯祾摺⒅脫Q合格后，關(guān)閉氮?dú)忾y門，拆除連接管線，系統(tǒng)瀉壓后，才可進(jìn)行拆卸或檢修。在有氮?dú)馕ｋU(xiǎn)，可能使周圍環(huán)境缺氧的地方，應(yīng)采取合適的預(yù)防措施，如配備呼吸設(shè)備或氧氣檢測儀等.?

什么是電子氣體

電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。例如在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過道，其中大約要使用種不同種類的電子氣體。

電子氣體輸送系統(tǒng)是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數(shù)、穩(wěn)定地輸送到工藝生產(chǎn)設(shè)備的用氣點(diǎn)。根據(jù)氣體性質(zhì)和供應(yīng)包裝的不同。

工業(yè)氣體的危險(xiǎn)性：

燃爆性，物質(zhì)從一種狀態(tài)迅速轉(zhuǎn)變成另一種狀態(tài)，并在瞬間放出大量能量，同時(shí)產(chǎn)生巨大聲響的現(xiàn)象，稱為燃爆。燃爆可分為物理性燃爆和化學(xué)性燃爆?？扇?xì)怏w的危險(xiǎn)特性主要是指化學(xué)性燃爆，即由于氣體發(fā)生極迅速的化學(xué)反應(yīng)而產(chǎn)生高溫、高壓所引起的燃爆。對于盛裝的化學(xué)性質(zhì)非?；顫姷臍怏w鋼瓶需要特別注意，因?yàn)檫@些介質(zhì)具有非常危險(xiǎn)的燃爆性。凡有熱和光一齊放出的氧化反應(yīng)稱為燃燒。氧化不能僅僅理解為氧氣與其它物質(zhì)的化合，它也指物質(zhì)與氧的化合。瓶裝氣體中“氧氣瓶禁油”的道理是大家所熟悉的。氧氣和綠氣都是強(qiáng)烈的氧化劑，應(yīng)避免與脂類等有機(jī)物接觸。氧和氯都是化學(xué)性質(zhì)活潑的氣體，遇脂、胺、醇等多種有機(jī)物會發(fā)生強(qiáng)烈的化學(xué)反應(yīng)而引起燃燒。

標(biāo)準(zhǔn)氣體氣瓶處理技術(shù)亟待解決

隨著高額利潤，這幾年國內(nèi)出現(xiàn)了大量的食品使用催化劑等藥，從而縮短植物生長周期，提高產(chǎn)量，更有些不法商為了趕在水果上市之前給果物注射大量的催熟劑和催紅劑，使作物看上去美味可口。經(jīng)過催化的植物性食物或動物性食物里面殘余的激量都會過高，如果孩子經(jīng)常吃這些被催化的食物，便有導(dǎo)致紊亂的危險(xiǎn)。由于這類事件的頻繁發(fā)生，導(dǎo)致現(xiàn)在人們對生活和工作的環(huán)境越來越重視，這要求活性標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)如含硫、含氯、含氟、含氨的標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度越來越低。由于這些氣體化學(xué)活性極高，在一般氣瓶中，其穩(wěn)定性很差。發(fā)達(dá)國家對氣瓶處理技術(shù)十分重視，各種處理技術(shù)各有特點(diǎn)。如：鍍鎳、鍍金、涂覆有機(jī)高分子。

而我國僅在“八五”期間開展過此方面的工作，但時(shí)至今日，有些處理技術(shù)仍滿足不了市場的需求，如N2～10×10一C12以下濃度標(biāo)氣的穩(wěn)定性急需解決。有許多標(biāo)氣配制人員，對氣瓶處理重視不夠，加之用戶對此認(rèn)識不清，這樣該換白鋼閥門的不換，該做涂層的也不做。這樣的標(biāo)氣用于校準(zhǔn)報(bào)警儀器，雖然一般情況下，看不出有問題，但這樣的報(bào)警儀器無疑形同虛設(shè)。有的人認(rèn)為只要進(jìn)行所謂的預(yù)報(bào)和，就會避免組分破“吃”的問題，但是，假如不進(jìn)行配后的分析，有時(shí)仍將導(dǎo)致組分含量劇增。因此，盡早地進(jìn)行的氣瓶處理是配制穩(wěn)定可靠活性標(biāo)氣的重要前提。