什么是高純氣體？

改革開(kāi)放以來(lái)，隨著我國(guó)高新技術(shù)的快速發(fā)展，計(jì)算機(jī)工業(yè)對(duì)大規(guī)模集成電路與液晶顯示器的需求量增加；隨著新型能源的發(fā)展，我國(guó)大力開(kāi)拓了多晶硅太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)；此外，新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件也過(guò)的迅猛發(fā)展，上述高新產(chǎn)品的生產(chǎn)中，都需要大量高純氣體，以制造出性能可靠的各種器件。改革開(kāi)放以來(lái)，隨著我國(guó)高新技術(shù)的快速發(fā)展，計(jì)算機(jī)工業(yè)對(duì)大規(guī)模集成電路與液晶顯示器的需求量增加。什么是高純氣體？半導(dǎo)體集成電路所需要的高純氣體主要分為兩大類：1、普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2、N2、O2、Ar、He等。2、特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、蝕刻用氣體等。

瑞士聯(lián)邦理工學(xué)院(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne(EPFL))的化學(xué)工程師證明，原子級(jí)的石墨烯膜能夠有效地分離氣體混合物。特種氣體是泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造的關(guān)鍵電子材料，直接關(guān)系到我國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展和國(guó)家戰(zhàn)略安全。這種膜是可伸縮的，使其成為工業(yè)氣體分離的突破口。將混合氣體（例如空氣）分離成它們各自的組分是一個(gè)具有多種工業(yè)應(yīng)用的過(guò)程，包括沼氣生產(chǎn)、金屬加工中的空氣富集中有毒氣體的去除、以及氨廠和煉油廠的氫回收。

氣體的分離

氣體分離通常使用由聚合物（例如纖維素）或其他材料制成的合成膜進(jìn)行。由于各種氣體都具有很大的流動(dòng)性和擴(kuò)散能力，所以一般認(rèn)為標(biāo)準(zhǔn)氣體的均勻性不存在什么問(wèn)題，其實(shí)不然。近年來(lái)，研究已經(jīng)轉(zhuǎn)向許多人所謂的膜：?jiǎn)螌邮?，一個(gè)厚度為單個(gè)原子，現(xiàn)已被證明是薄的分子屏障，因此是有效的膜，具有優(yōu)異的滲透率與穩(wěn)健性和可擴(kuò)展性。然而，開(kāi)發(fā)石墨烯的進(jìn)展遇到了兩個(gè)“瓶頸”：一，缺乏將分子大小的孔結(jié)合到石墨烯層中的方法；第二，缺乏實(shí)際制造機(jī)械堅(jiān)固、無(wú)裂紋和無(wú)撕裂的大面積膜的方法?，F(xiàn)在，在解決這兩個(gè)問(wèn)題的突破中，EPFL 研究團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)了一種大面積單層石墨烯膜，它能以有效率(分離系數(shù)高達(dá)25)從jiawan中分離氫，并且開(kāi)發(fā)出未有的氫，孔隙度僅為0.025%。

氧氣的物理性質(zhì)

氧元素位于周期表第六族，原子序數(shù)為8，原子量為16，分子量為32.在通常情況下，氧是無(wú)色、無(wú)味的氣體。該園區(qū)內(nèi)長(zhǎng)達(dá)1300多千米的氣體運(yùn)輸管網(wǎng)均配有實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，便于統(tǒng)籌調(diào)配管理和有效集約供氣?？諝庵泻凶杂蔂顟B(tài)的氧，按體積氧的含量約占21%，按質(zhì)量約占23%。在標(biāo)準(zhǔn)狀況下，1升氧氣的質(zhì)量為1.429克，它比空氣稍重。當(dāng)溫度降到-183℃ 時(shí)，氧態(tài)氧變成淡藍(lán)色的液體；當(dāng)溫度降到-218.8℃ 時(shí)，液氧就會(huì)變成雪花狀的淡藍(lán)色固體。氧是自然界中含量較多的元素，分布很廣，占地殼中各元素總量的47%，占水成分的89%，占地殼中巖石，抗物成分的46.6%。