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對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
潔凈車間應(yīng)用的行業(yè):
半導(dǎo)體 : 半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ),由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個突出問題。 隨著潔凈車間在各個行業(yè)的普及,快速替代了普通的生產(chǎn)車間,潔凈車間與普通車間相比,具有哪些特點(diǎn)和優(yōu)勢呢?潔凈車間在空氣過濾方式、送風(fēng)量、氣壓、人員與物品進(jìn)出管理等方面都有著嚴(yán)格處理方案。
潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分
1、潔凈度,溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng),可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉。
3、有條件時可將 4 級、5 級單向流和 6 級、7 級、8 級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。
4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng)。
5、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。
潔凈室的無論在外部大氣條件下,
其可以全部具有室維持原設(shè)定的潔凈度要求,溫度,濕度和壓力的性能特性的變化。潔凈室的主要作用是控制所述植物材料(如硅芯片等)的溫度和潔凈空氣的濕度以與氣體的接觸生存,所以該植物原料可以在工廠,制造,潔凈室的空間中一個良好的環(huán)境也是我們所說的潔凈室。凈化車間靜電式凈化方式的缺點(diǎn):可去除飄塵(不能去除氣體),效能比機(jī)械式低,慢,而且易產(chǎn)生臭氧,此機(jī)型被美國市場評為差凈化器。負(fù)離子法 羥基負(fù)離子與空氣中漂浮的有害氣體接觸后,能還原來自大氣的污染物質(zhì)、氮氧化物、等產(chǎn)生的活性氧(氧自由基)、減少過多活性氧對人體的危害;中和帶正電的空氣飄塵無電荷后沉降。