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硅片切割設(shè)備
金剛線專用設(shè)備主要有進口專機和國產(chǎn)轉(zhuǎn)機,進口專用設(shè)備的報價基本在350萬到500萬之間,代表廠商有梅耶博格MB-288、NTC PV600DT等設(shè)備;但樹脂金剛石線的工藝復(fù)雜,目前主要依靠進口,其成本較高,因此還得不到廣泛的應(yīng)用。國產(chǎn)金鋼線專用設(shè)備報價基本在200-240萬之間,無論是國產(chǎn)專機還是進口專機,其前期投入均較大,且面臨原有設(shè)備閑置浪費的風(fēng)險,因此,目前該方案主要適用于近期計劃新上硅片切割 設(shè)備廠家,如隆基、協(xié)鑫、阿特斯、比亞迪等近期新上的切片項目均采用的是金鋼線專用設(shè)備。
金剛石線鋸切割
電鍍金剛石線鋸是用電鍍的方法在金屬絲(線) (基體) 上沉積一層金屬(一般為鎳及鎳鈷合金) 并在沉積的金屬內(nèi)固結(jié)金剛石磨料制成的一種線性超硬材料工具。
與內(nèi)圓切割片、金剛石帶鋸、游離磨料多線切割相比較,金剛石線鋸切割顯現(xiàn)出一系列優(yōu)點:加工表面損傷小、撓曲變形小,片厚一致性好,可隨意改變切割方向,精度佳,,壽命長等。因此,越來越受到人們的關(guān)注。
?電火花線切割
電火花線切割加工要求被加工材料必須導(dǎo)電,其工作原理是在絕緣油介質(zhì)中,靠金屬切割盤與試樣之間產(chǎn)生的電弧起切割作用。將工件接入脈沖電源正極,采用鉬絲或銅絲作為切割金屬絲,將金屬絲接高頻脈沖電源負極作為工具電極,利用火花放電對加工零件進行切割。脈沖電源提供加工能量,加工過程中應(yīng)用專用的線切割工作液清除加工中產(chǎn)生的碎屑,切割過程中若工件材料過厚時,工作液較難進入和充滿放電間隙,會對加工精度和表面粗糙度造成影響。價格二萬多元,三萬多,四萬多,十幾萬甚至更高,線切割機的價格有效切割行程大的價格就高。
而金剛石線切割不存在導(dǎo)電的問題,其加工精度和粗糙度都大幅提升
柔性切割
切割速度的選擇:
金剛石線鋸的切割屬于柔性切割,利用金剛石顆粒的硬度比被切割的材料堅硬,切割過程中不銹鋼線上鍍有的金剛石顆粒層與被切材料進行往復(fù)磨削,達到切割的目的。根據(jù)材料特性,一般硬度適中(莫氏硬度<9)的脆性材料切割速度可適當(dāng)快一些,如硅、石墨、壓電陶瓷、玻璃等。這是因為這些材料遠沒有金剛石堅硬,當(dāng)金剛石線與其進行磨削時會很容易將材料磨削成顆粒進而切割。當(dāng)切割金屬或混合型材料或者難于切割的陶瓷材料,切割速度要盡可能慢。電火花線切割加工要求被加工材料必須導(dǎo)電,其工作原理是在絕緣油介質(zhì)中,靠金屬切割盤與試樣之間產(chǎn)生的電弧起切割作用。