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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。球桿儀使用方法球桿儀qc20-w系統(tǒng)是基于renishaw多年球桿儀測試的經(jīng)驗而推出的，與已有的球桿儀qc10系統(tǒng)相比，性能更優(yōu)異，操作優(yōu)點更顯著。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。

軸類零件的在線測量

在線測量軸類零件，主要的形位公差有三個：跳動，同軸度，垂直度。 通常來說，測量跳動的爭議不大，可能在線測量中會有一點操作上的問題。一般，跳動需要自動采點，可以自動測量平面，也可以自動測N個點，再擬和為平面，后面的就好辦了。微位移球桿儀一般是利用線性位移傳感器（LVDT）檢測位移變化量的，連桿長度變化范圍比較小，一般應(yīng)用于測量數(shù)控機床作圓弧插補運動時的半徑變化量。 同軸度是爭議比較大的問題。短軸類在線測量，基準(zhǔn)為軸承類緊密裝配的，嚴(yán)格按圖紙評價。如果是與其它精密零件配合的，先以同軸度評價，如果有超差的，再以裝配基準(zhǔn)面建坐標(biāo)系，評價其同心度或是圓心的相對于基準(zhǔn)投影的位置度。

球桿儀使用方法

球桿儀組件中還包含球桿儀及校準(zhǔn)規(guī)的可溯源的校準(zhǔn)證書，以及用于在機床上顯示測試結(jié)果的驗證標(biāo)簽。

傳感器行程 -1.25 mm至 1.75 mm 傳感器測量范圍 ±1.0 mm采樣速率 每秒1000個值工作溫度范圍 0 °C - 40 °C系統(tǒng)便攜箱尺寸(L x W x H) 395 mm x 300 mm x 105 mm 球桿儀系統(tǒng)便攜箱重量含組件 3.75 kg（大約） 數(shù)據(jù)傳輸范圍（二類Bluetooth?） 10 m 典型值 3所有單個組件項目都可以作為備件單獨訂購。兩個高精度球通過內(nèi)裝強力磁鐵的磁性球座分別與工作臺和主軸端部相聯(lián)。

球桿儀QC20-W規(guī)格傳感器分辨率 0.1 μm 傳感器精度 ±0.5 μm（在20 °C時） 系統(tǒng)測量精度 ±1.25 μm（在20 °C時）