潔凈室的冷熱源機組:a

潔凈室的冷熱源機組： a.電驅(qū)動的壓縮式制冷機 電驅(qū)動的壓縮式制冷機主要以氟里昂、氨為制冷劑，民用制冷機大部分采用氟里昂作為制冷劑。按冷卻介質(zhì)的種類可分為空氣冷卻和水冷卻兩種形式，按壓縮機種類可分為活塞式、螺桿式、離心式三種形式，按提供的冷源或熱源情況可分為冷水機組和熱泵機組兩種形式。 人身凈化道路 為了在操作中盡量削減人活動發(fā)生的污染，人員在進(jìn)入凈化區(qū)之前，有必要替換凈化服并吹淋、洗澡、消毒。這些辦法即“人身凈化”簡稱“人凈”。 人凈用房中替換凈化服的房間應(yīng)予送風(fēng)，并對進(jìn)口側(cè)等其他房間堅持正壓，對廁所、淋浴堅持少許正壓，而廁所、淋浴應(yīng)堅持負(fù)壓。

安全分散由于凈化車間是密閉性很強的修建

安全分散 由于凈化車間是密閉性很強的修建，其安全分散變成十分重要和突出的疑問，和凈化空調(diào)體系設(shè)置也有密切關(guān)系。通常應(yīng)留意以下幾點： 1.每一出產(chǎn)層防火區(qū)或凈化區(qū)至少設(shè)2個安全出口，只要面積小于50㎡，人員少于5人時，可答應(yīng)只設(shè)一個安全出口。 2.人凈進(jìn)口不應(yīng)作分散出口。由于人凈道路通常轉(zhuǎn)彎抹角，一旦煙火迷漫，需求人員很快跑到室外是很艱難的事。

潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染

潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染（Airborne Molecular Contaminants，AMC）作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前由日本人提出，近年來，世界IC技術(shù)發(fā)展迅速，IC芯片日益微型化。AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù)，但對AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料（化學(xué)品、特種氣體等）在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此，IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中，AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的重要問題，AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計與施工建設(shè)的主流趨勢。目前，國內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究，在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成，在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列，而中國電子工程設(shè)計院則在防微震方面。