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微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來,產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢,而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵,所以他們從不將一開始的設(shè)計定型。
房間
盡可能(maybe)選擇寬敞、明亮的房間。一般有內(nèi)外兩間,外間作手術(shù)準(zhǔn)備室,用來放盆器械柜,裝有簡單洗手設(shè)備,內(nèi)間作手術(shù)室,房間面積至少應(yīng)能夠放一張手術(shù)的床、一個器城臺和容納手術(shù)人員活動.房門應(yīng)寬大,以便抬送受術(shù)者。
光線
手術(shù)室一般陽光充足.如無日光,可用電燈光、立式地?zé)?,必要時也可用煤氣(Coal Gas)燈或手電光照明。
地面
手術(shù)間地面力求平整光滑。術(shù)前應(yīng)該用水沖刷地面或在地面灑水,以防塵土飛揚(yáng),污染手術(shù)野。
清潔車間是指專門為控制房間的清潔和清除空氣中在規(guī)定范圍內(nèi)漂浮的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物而設(shè)計的房間。凈化工程公司對于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言,常用的加濕方法有很多種,有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕,這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽,其加濕方法屬等溫加濕過程。
清潔車間不同空氣潔凈度的空氣過濾器的選擇和布置:對于300,000級空氣凈化處理,可以使用亞過濾器代替過濾器; 100,10000和100000空氣的空氣潔凈度對于凈化處理,應(yīng)使用用于初級,中級和過濾器的三級過濾器;中效或空氣過濾器應(yīng)根據(jù)小于或等于額定風(fēng)量選擇;中效空氣過濾器應(yīng)集中在凈化空調(diào)的正壓段;應(yīng)在吹掃空調(diào)系統(tǒng)的末端放置或低效的空氣過濾器。