超精密機(jī)床主軸承載工件尺寸、重量大，一般宜采用液體靜壓主軸。液體靜壓主軸阻尼大、抗振性好、承載力大，但主軸高速時(shí)發(fā)熱多，需采取液體冷卻恒溫措施。液體靜壓主軸回轉(zhuǎn)精度可達(dá)0.1μm。工件主軸用于速度控制模式時(shí)，主軸角度編碼器分辨率要求不高。當(dāng)用于XZC位置控制模式時(shí)，為了保證加工工件的表面質(zhì)量，編碼器分辨率要求非常高，可達(dá)0.06″。廣州數(shù)控加工訂制服務(wù)熱線。

       為了保證主軸精度和穩(wěn)定性，無(wú)論氣壓源或液壓源都需進(jìn)行恒溫、過(guò)濾和壓力精密控制處理。早期的超精密機(jī)床采用氣浮靜壓導(dǎo)軌技術(shù)。氣浮靜壓導(dǎo)軌易于維護(hù)，但阻尼小，承載抗振性能差，現(xiàn)已較少采用。閉式液體靜壓導(dǎo)軌具有高抗振阻尼、高剛度、承載力大的優(yōu)勢(shì)。國(guó)外主要的超精密加工現(xiàn)在主要采用液體靜壓導(dǎo)軌。超精密的液體靜壓導(dǎo)軌的直線度可達(dá)到0.1μm。廣州數(shù)控加工訂制服務(wù)熱線。

      在小的尺度方面，太赫茲系統(tǒng)中的微型波紋喇叭天線（毫米級(jí)復(fù)雜形狀內(nèi)腔、微米級(jí)加工精度）是未來(lái)所需解決的超精密加工難題之一。超精密微機(jī)械加工機(jī)床的關(guān)鍵技術(shù)不在機(jī)床自身尺寸。由于運(yùn)動(dòng)精度要求，這種機(jī)床尺寸不能做得太小,因而其關(guān)鍵技術(shù)在于機(jī)床結(jié)構(gòu)，如工件的裝夾，在位測(cè)量、調(diào)整、對(duì)刀、微型超精密刀具等。廣州數(shù)控加工訂制服務(wù)熱線。

        在加工面形的復(fù)雜度方面，由于太赫茲波束控制元件表面電磁特性，其設(shè)計(jì)元件面形更加復(fù)雜，如非對(duì)稱賦形自由曲面等。由于各種條件限制，超精密機(jī)床不可能做得太大。對(duì)于硬脆材料的超大型應(yīng)用，如深空望遠(yuǎn)鏡拼接式離軸非球面鏡片可用相應(yīng)尺寸的多軸超精密自由曲面磨床加工解決，但對(duì)于太赫茲應(yīng)用的金屬基（如鋁基等）相同尺寸或更復(fù)雜面形元件，這種機(jī)床就不適宜。廣州數(shù)控加工訂制服務(wù)熱線。

       刮削一般由鉗工手持操作，有平面刮削和曲面刮削兩種方法。一般用碳素工具鋼或軸承鋼制造，后端裝有木柄，刀體部分淬硬到HRC60左右，刃口經(jīng)過(guò)研磨，磨損后可進(jìn)行復(fù)磨。工件表面先經(jīng)切削加工，刮削余量為 0.05～0.4毫米。廣州數(shù)控加工訂制服務(wù)熱線。

       平面刮削的操作分推刮和拉刮兩種。推刮主要依靠臂力和胯部的推壓作用，切削力較大，適于大面積的粗刮和半精刮。拉刮僅依靠臂力加壓和后拉，切削力較小，但刮削長(zhǎng)度容易控制，適于精刮和刮花。每次刮削前，為了辨明工件誤差的位置和程度，需要在精密的平板、平尺、專用檢具或與工件相配的偶件表面涂一層很薄的顯示劑（也可涂在工件上），然后與工件合在一起對(duì)研（來(lái)回摩擦）對(duì)研后，工件表面的某些凸點(diǎn)便會(huì)清晰地顯示出來(lái)，這個(gè)過(guò)程稱為顯點(diǎn)。常用的顯示劑是油（氧化鐵或氧化鉛加機(jī)械油調(diào)制）或藍(lán)油（普魯士藍(lán)與蓖麻油或機(jī)械油調(diào)制）。廣州數(shù)控加工訂制服務(wù)熱線。

         是刮削工作中的重要工具，要求刀頭部分有足夠的硬度和刃口鋒利。常用T10A、T12A和GCr15鋼制成，也可在頭部焊上硬質(zhì)合金，以刮削硬金屬。可分為平面和曲面兩種。平面用于刮削平面，可分為粗、細(xì)和精亂刀三種；曲面用來(lái)刮削曲面，曲面有多種形狀，常用三角。廣州數(shù)控加工訂制服務(wù)熱線。

       校準(zhǔn)工具的用途是：一是用來(lái)與刮削表面磨合，以接觸點(diǎn)子多少和疏密程度來(lái)顯示刮削平面的平面度，提供刮削依據(jù)；二是用來(lái)檢驗(yàn)刮削表面的精度與準(zhǔn)確性。刮削平面的校準(zhǔn)工具有：校準(zhǔn)平板、校正尺和角度直尺三種。顯示劑是用來(lái)顯示被刮削表面誤差大小的。它放在校準(zhǔn)工具表面與刮削表面之間，當(dāng)校準(zhǔn)工具與刮削表面合在一起對(duì)研后，凸起部分就被顯示出來(lái)。這種刮削時(shí)所用的輔助涂料稱為顯示劑。廣州數(shù)控加工訂制服務(wù)熱線。