工業(yè)烘箱以額定溫度區(qū)分，一般可分為： 低溫工業(yè)烘箱：100℃以下，一般用于電氣產(chǎn)品老化，普通料件的緩速干燥，部分食品原料、塑料等產(chǎn)品的干燥用。

常溫工業(yè)烘箱：100-250℃，這是常見的使用溫度，用于大多數(shù)料件的水分干燥、涂層固化、加溫、加熱、保溫等。

高溫工業(yè)烘箱：250-400℃，高溫干燥特種材料、工件加溫安裝、材料高溫試驗(yàn)、化工原料的反應(yīng)處理等。 　超高溫工業(yè)烘箱：400-600℃，更高的工作溫度，高溫干燥特種材料、工件加溫?zé)崽幚?、材料高溫試?yàn)等。

隧道爐烘干線需要改進(jìn)的地方

近年來，國外的隧道爐烘干線又發(fā)展到了一個新的階段。出現(xiàn) 了輥底窯、推板窯、氣墊窯等新式窯爐。國內(nèi)也相繼設(shè)計(jì)、建 造了一些輥底窯、推板窯。這些窯護(hù)，可以說是“第二代的隧 道窯”。它們的共同特點(diǎn)是:

1.取消了窯車，而代之以別的傳送方式(輥底、推板、氣 墊等)。

2.窯體通道的高度顯著降低，這對于縮小上下溫差，保 證產(chǎn)品質(zhì)量大有好處。

3.快速燒成。燒成周獄巳由原來的二十幾個小時(shí)縮坦 幾個小時(shí)，甚至幾十分鐘。

4.自動控制。 隨著生產(chǎn)和科學(xué)技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，隧道爐烘干線還要進(jìn)一步 向前發(fā)展。我們要不斷地從實(shí)踐巾總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，進(jìn)一步探討滋 道窯的規(guī)律，豐富和發(fā)展隧道爐烘干線的理論，并用以指導(dǎo)實(shí)踐，從 而使隧道爐烘干線不斷改進(jìn)、不斷完善，促進(jìn)我國陶瓷工業(yè)的發(fā)展。溫度控制系統(tǒng)由熱電偶、調(diào)節(jié)器、調(diào)壓器和加熱器組成，以控制各區(qū)的溫度，滿足產(chǎn)品的要求，達(dá)到節(jié)能的目的。

隧道爐

隧道爐是連續(xù)式的車底爐，能處理很重的工件。它的爐體是個長的隧道，利用推料機(jī)使一列料車首尾相接地在鐵軌上運(yùn)行。這些料車同車底式爐的料車相仿，車面上砌有耐火磚，側(cè)面有砂封。隧道爐烘干線的徽燒室位于爐子兩側(cè)。為了使工件均勻受熱，應(yīng)將工件架空起來，燃燒產(chǎn)物可進(jìn)到工件的下面去。其中上火分配139根，di火分配為208根，均布在7個有功率區(qū)域。

隧道爐烘干線的好處是可以在產(chǎn)童很大的情況下嚴(yán)格遵守退火的溫度曲線，缺點(diǎn)是爐子一旦建成以后，其溫度制度就無法變更。所以在工藝制度固定不變的情況下才能采用隧道爐烘干線。

半導(dǎo)體連續(xù)隧道爐烘干線的溫度控制

(一)概述

半導(dǎo)體器件需在連續(xù)隧道爐烘干線上進(jìn)行烘干，爐內(nèi)溫度必須按一定要求變化，即有升溫、保溫、降溫過程。所以，隧道爐烘干線的溫度控制是很重要的。

(二)系統(tǒng)組成和控制原理

這是一個連續(xù)的生產(chǎn)過程。隧道爐烘干線分成7個區(qū)，分別裝有加熱器。需要烘干的半導(dǎo)體路件技時(shí)間要求順序從區(qū)運(yùn)行到第7區(qū)(例如根據(jù)工藝要確定1, 2區(qū)為升溫區(qū)，3, 4, 5區(qū)為保溫區(qū)，6, 7區(qū)為降溫風(fēng))。溫度控制系統(tǒng)由熱電偶、調(diào)節(jié)器、調(diào)壓器和加熱器組成，以控制各區(qū)的溫度，滿足產(chǎn)品的要求，達(dá)到節(jié)能的目的。(3)如果輸人壓力增加或減小時(shí)伺服氣缸不工作，期到定是供壓未起作用、ding位器節(jié)流口堵塞或氣缸的活塞密封裝置磨損的原因，這時(shí)應(yīng)檢修供壓調(diào)壓閥的設(shè)工、清理節(jié)流口或更換活塞密封裝置。