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發(fā)布時(shí)間:2020-12-15 09:39  








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氣體匯流排系統(tǒng)是一種高壓產(chǎn)品。不遵守以下說明可能導(dǎo)致人身傷害或財(cái)產(chǎn)損失。請(qǐng)仔細(xì)閱讀注意事項(xiàng)并遵照?qǐng)?zhí)行。

 ?。?)油、脂等材料不得接觸氣瓶、集管和接線。油和油脂與某些氣體,特別是氧氣和氣接觸時(shí)發(fā)生反應(yīng)并點(diǎn)燃;

  (2)瓶閥必須開得很慢,氣體壓縮產(chǎn)生的熱量可能點(diǎn)燃燃材料;



表面粗糙度和耐磨性

為了確保輸送的氣體純凈度,要求管道材料內(nèi)表面有一個(gè)極高的光潔度,這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留,可以在吹掃時(shí)比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速?zèng)_刷下,產(chǎn)生的金屬粒子就少,不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少,所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。

抗腐蝕性

微電子生產(chǎn)中,經(jīng)常使用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體,這時(shí)必須采用耐腐蝕的管材,否則管道會(huì)被腐蝕,輕則表面產(chǎn)生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體,還會(huì)發(fā)生危險(xiǎn)事故。



對(duì)3臺(tái)以上(或6臺(tái)以上)的儀器,應(yīng)采用外徑為6mm、內(nèi)徑為5mm的不銹鋼管。進(jìn)入室內(nèi)后,用異徑三通(φ6×φ6×φ3)分流到每一臺(tái)儀器上。當(dāng)然為了減少互相影響,要加裝穩(wěn)壓閥。

對(duì)采用不銹鋼管軟管的用戶,則施工、調(diào)試、材料等費(fèi)用將大大增加(數(shù)倍以上)。



高純氣體管道中所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(diǎn)(POU),為了達(dá)到儀器對(duì)氣體的質(zhì)量要求,在氣體出口指標(biāo)一定的情況下,則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。




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