大塚電子（蘇州）有限公司主要銷(xiāo)售用于光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車(chē)前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查。歡迎新老客戶(hù)來(lái)電咨詢(xún)！

膜厚儀具有測(cè)量誤差小、可靠性高、穩(wěn)定性好、操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn)，是控制和保證產(chǎn)品質(zhì)量必不可少的檢測(cè)儀器，廣泛地應(yīng)用在制造業(yè)、金屬加工業(yè)、化工業(yè)、商檢等檢測(cè)領(lǐng)域。

測(cè)量示例：

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測(cè)量

半導(dǎo)體晶體管通過(guò)控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來(lái)發(fā)送信號(hào)，但是為了防止電流泄漏和另一個(gè)晶體管的電流流過(guò)任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過(guò)CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準(zhǔn)的工藝控制，有必要測(cè)量這些膜厚度。



 

膜厚測(cè)試儀調(diào)校步驟：選擇要調(diào)校的產(chǎn)品程式；選擇菜單“調(diào)校---調(diào)?！遍_(kāi)始進(jìn)行“調(diào)?！逼聊蛔笙陆堑闹噶畲翱跁?huì)出現(xiàn),按“確定”結(jié)束調(diào)校。