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進(jìn)口化學(xué)氣相沉積設(shè)備報價擇優(yōu)推薦,沈陽鵬程有限公司

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發(fā)布時間:2020-07-30 18:45  






什么是化學(xué)氣相沉積?

化學(xué)氣相沉積是一種化工技術(shù),該技術(shù)主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)、在襯底表面上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的方法?;瘜W(xué)氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來的制備無機(jī)材料的新技術(shù)?;瘜W(xué)氣相淀積法已經(jīng)廣泛用于提純物質(zhì)、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機(jī)薄膜材料。物理氣相沉積技術(shù)工藝過程簡單,對環(huán)境改善,無污染,耗材少,成膜均勻致密,與基體的結(jié)合力強(qiáng)。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物,也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物,而且它們的物理功能可以通過氣相摻雜的淀積過程準(zhǔn)確控制?;瘜W(xué)氣相淀積已成為無機(jī)合成化學(xué)的一個新領(lǐng)域。

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化學(xué)氣相沉積的應(yīng)用

現(xiàn)代科學(xué)和技術(shù)需要使用大量功能各異的無機(jī)新材料,這些功能材料必須是高純的,或者是在高純材料中有意地?fù)饺肽撤N雜質(zhì)形成的摻雜材料。但是,我們過去所熟悉的許多制備方法如高溫熔煉、水溶液中沉淀和結(jié)晶等往往難以滿足這些要求,也難以保證得到高純度的產(chǎn)品?;瘜W(xué)氣相沉積法在金屬材料方面的使用以下內(nèi)容由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供,今天我們來分享化學(xué)氣相沉積的相關(guān)內(nèi)容,希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。因此,無機(jī)新材料的合成就成為現(xiàn)代材料科學(xué)中的主要課題。

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化學(xué)氣相沉積的特點(diǎn)

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特點(diǎn)

1)在中溫或高溫下,通過氣態(tài)的初始化合物之間的氣相化學(xué)反應(yīng)而形成固體物質(zhì)沉積在基體上。

2)可以在常壓或者真空條件下(負(fù)壓“進(jìn)行沉積、通常真空沉積膜層質(zhì)量較好)。

)采用等離子和激光輔助技術(shù)可以顯著地促進(jìn)化學(xué)反應(yīng),使沉積可在較低的溫度下進(jìn)行。

4)涂層的化學(xué)成分可以隨氣相組成的改變而變化,從而獲得梯度沉積物或者得到混合鍍層。

5)可以控制涂層的密度和涂層純度。

6)繞鍍件好??稍趶?fù)雜形狀的基體上以及顆粒材料上鍍膜。適合涂覆各種復(fù)雜形狀的工件。由于它的繞鍍性能好,所以可涂覆帶有槽、溝、孔,甚至是盲孔的工件。

7)沉積層通常具有柱狀晶體結(jié)構(gòu),不耐彎曲,但可通過各種技術(shù)對化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行的氣相擾動,以改善其結(jié)構(gòu)。

8)可以通過各種反應(yīng)形成多種金屬、合金、陶瓷和化合物涂層。



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