磁     控    靶

 磁控濺射靶是真空磁控濺射鍍膜的核心部件，它的重要作用主要表現(xiàn)在以下兩個(gè)方面

(1)對(duì)于大面積表面的鍍膜，磁控濺射靶影響著膜層的均勻性與重復(fù)性；

(2)當(dāng)膜層材料為貴重金屬時(shí)，靶的結(jié)構(gòu)決定著靶材(形成薄膜的材料)，即該貴重金屬的利用率.從靶結(jié)構(gòu)上分為:圓形平面靶/柱狀靶/矩形靶/

常規(guī)圓形平面靶規(guī)格:

1.靶材尺寸：Ф50mm；Ф60mm；Ф75mm；Ф100mm；Ф150mm；可定制各類磁控靶

2.永磁靶（可濺射磁性材料)，射頻濺射與直流濺射兼容，靶內(nèi)水冷；

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水冷銅電極介紹

水冷電纜電極是一種中空通水，用于大電流加熱設(shè)備的特種電纜，通常由電極（電纜頭）、導(dǎo)線、外護(hù)套管三部分組成。

普通水冷電纜電極使用銅管及銅排焊接而成，與設(shè)備連接不緊密；導(dǎo)線采用銅裸線絞制，彎曲半徑大；外護(hù)套管使用普通橡膠軟管，耐壓低；套管與電極采用普通卡箍緊固，密封性不好，易漏水。水冷電纜電極采用整體銅棒車、銑加工而成，表面做鈍化或鍍錫處理；導(dǎo)線使用鍍錫銅絞線或漆包線經(jīng)數(shù)控繞線機(jī)編織而成，柔軟度高，彎曲半徑??；外護(hù)套管使用具有加強(qiáng)夾布層的合成橡膠管，耐壓高。干燥已經(jīng)清潔的玻璃表面沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司本著多年真空配件與零件行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，專注真空配件與零件研發(fā)定制與生產(chǎn)，先進(jìn)的真空配件與零件生產(chǎn)設(shè)備和技術(shù)，建立了嚴(yán)格的產(chǎn)品生產(chǎn)體系，想要更多的了解，歡迎咨詢圖片上的熱線電話。套管與電極使用紫銅卡箍在專業(yè)設(shè)備上冷擠壓緊固，密封性好，不易漏水。

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靶材鍍膜前的清潔

在進(jìn)行鍍膜前都必須將基片進(jìn)行清潔,對(duì)于在線鍍膜來(lái)說(shuō),這是很小的事情,但對(duì)離線鍍膜來(lái)說(shuō)卻相當(dāng)重要,而且操作起來(lái)也比較困難，對(duì)于大面積的鍍膜來(lái)說(shuō),將玻璃基片完全清潔干凈是不可能的,因此,如何達(dá)到鍍膜所必須要求的潔凈程度就變得非常重要。要保持清潔程度足夠高,如果清潔程度不夠,膜層容易老化,甚至脫膜等現(xiàn)象。要保持清潔程度足夠高,如果清潔程度不夠,膜層容易老化,甚至脫膜等現(xiàn)象。不同用途,不同加工工藝的膜層對(duì)清潔程度要求是不一樣的,對(duì)于目前我司生產(chǎn)的玻璃來(lái)說(shuō), Low-E玻璃要求的玻璃潔凈度不如熱反射玻璃高。目前要為鍍膜準(zhǔn)備大面積的鍍膜玻璃基片，主要采用的是一 種濕式清潔技術(shù),這種技術(shù)包括三部分:

1.松動(dòng)玻璃表面的雜質(zhì)

2.去除已經(jīng)松動(dòng)的、分離的雜質(zhì)

3.干燥已經(jīng)清潔的玻璃表面

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