OLED有機(jī)無機(jī)聯(lián)合蒸發(fā)系統(tǒng)介紹

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OLED有機(jī)無機(jī)聯(lián)合蒸發(fā)系統(tǒng)的用途 ：

適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機(jī)薄膜等，可用于科研單位進(jìn)行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗(yàn)工作。4、樣品架系統(tǒng)：可放置大小為Φ120mm的樣品，旋轉(zhuǎn)速度為：0～30轉(zhuǎn)/分。與手套箱聯(lián)合系統(tǒng)的用戶群體為科研院所及實(shí)驗(yàn)室，將真空蒸發(fā)系統(tǒng)工作室置于Glove box無水、無氧、無塵的超純環(huán)境中，PVD與Glove box硬件無縫對接，操控融合一體，廣泛應(yīng)用于有機(jī)、無機(jī)、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領(lǐng)域

Parylene裂解儀

Parylene用獨(dú)特的真空氣相沉積工藝（CVD技術(shù)）制備，由活性小分子在基材表面'生長'出完全敷形的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號稱'無孔不入'可深入裂縫里和內(nèi)表面。這種真空狀態(tài)下室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無、透明無應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性，甚至被業(yè)內(nèi)稱為當(dāng)今世界的防潮、防霉（零級）、防腐、防鹽霧的特殊防護(hù)涂層。Parylene涂層在具備以上優(yōu)異防護(hù)性能基礎(chǔ)上,尤其還具有良好的生物兼容性,生物穩(wěn)定性，并有優(yōu)異的自潤滑性,涂層均勻可控性,以及好的物理機(jī)械性能。ParyleneD粉在更高溫度下具有相對更好的物理及電性能，同時(shí)與N、C型相比，具有更好的熱穩(wěn)定性。

1.一腔體，采用SUS304不銹鋼艙體有效鍍膜空間 ≧ 直徑300mm x 高度350mm，腔體設(shè)有觀景窗, 采用掀蓋式腔蓋并設(shè)有把手以便腔蓋開閉。

2. 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，可承載重量: 20公斤,旋轉(zhuǎn)速度: 0.5至10 rpm。

3. 油式泵浦，抽氣速度 ≧ 200L/min ; 壓力 ≦ 5*10-3Torr。

4. 控制系統(tǒng)，采用具PID功能之溫控模塊及高的精度溫度傳感器，系統(tǒng)可進(jìn)行自動(dòng)或半自動(dòng)(溫控/真空)操作,并可儲(chǔ)存與選擇Recipe 。

5. 附屬冷凝機(jī)，溫度 ≦ -90℃

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鈣鈦礦蒸發(fā)鍍膜機(jī)的特點(diǎn)

1、樣品位于真空室上方，蒸發(fā)源位于真空室下方，向上蒸發(fā)鍍膜，且蒸發(fā)源帶有擋板裝置。</span>

2、設(shè)有烘烤加熱功能，可在鍍膜過程中加熱樣品，烘烤加熱溫度可達(dá)180℃。

3、設(shè)有斷水、斷電連鎖保護(hù)報(bào)警裝置及防誤操作保護(hù)報(bào)警裝置。

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