Parylene裂解儀

Parylene用獨特的真空氣相沉積工藝（CVD技術(shù)）制備，由活性小分子在基材表面'生長'出完全敷形的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號稱'無孔不入'可深入裂縫里和內(nèi)表面。其工藝過程如下：首先固態(tài)的派瑞林原料在蒸發(fā)腔內(nèi)隨著溫度的升高逐漸吸熱升華。這種真空狀態(tài)下室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無、透明無應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護性，甚至被業(yè)內(nèi)稱為當(dāng)今世界的防潮、防霉（零級）、防腐、防鹽霧的特殊防護涂層。Parylene涂層在具備以上優(yōu)異防護性能基礎(chǔ)上,尤其還具有良好的生物兼容性,生物穩(wěn)定性，并有優(yōu)異的自潤滑性,涂層均勻可控性,以及好的物理機械性能。

1.一腔體，采用SUS304不銹鋼艙體有效鍍膜空間 ≧ 直徑300mm x 高度350mm，腔體設(shè)有觀景窗, 采用掀蓋式腔蓋并設(shè)有把手以便腔蓋開閉。

2. 旋轉(zhuǎn)平臺，可承載重量: 20公斤,旋轉(zhuǎn)速度: 0.5至10 rpm。

3. 油式泵浦，抽氣速度 ≧ 200L/min ; 壓力 ≦ 5*10-3Torr。

4. 控制系統(tǒng)，采用具PID功能之溫控模塊及高的精度溫度傳感器，系統(tǒng)可進行自動或半自動(溫控/真空)操作,并可儲存與選擇Recipe 。

5. 附屬冷凝機，溫度 ≦ -90℃

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有機熱蒸發(fā)鍍膜機介紹

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)生產(chǎn)、銷售電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品，我們公司堅持用戶為上帝，想用戶之所想，急用戶之所急，以誠為本，講求信譽，以產(chǎn)品求發(fā)展，以質(zhì)量求生存，我們熱誠地歡迎各位同仁合作共創(chuàng)輝煌。

真空：極限真空6*10 -5 帕

工作真空6*10 -4 帕

恢復(fù)工作真空時間：連接手套箱≤10分鐘

不連接手套箱，充干燥氮氣≤30分鐘

本套設(shè)備配有8個有機源及2個金屬源

金屬蒸發(fā)源和有機蒸發(fā)源可按客戶要求配置

膜厚探頭及膜厚儀有國產(chǎn)或者進口可選

金屬蒸發(fā)源配有1000w電源

有機蒸發(fā)源配有可控溫電源，控溫精度±1℃