多源有機無機蒸發(fā)?系統(tǒng)有機無機聯(lián)合蒸發(fā)鍍膜機銷售

多源有機無機蒸發(fā)系統(tǒng)

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主要用途：

用于納米級單層及多層金屬膜、 半導(dǎo)體膜等新材料的制備。廣泛應(yīng)用 于大專院校的薄膜材料科研。

系統(tǒng)組成:

由真空室、蒸發(fā)源、樣品臺、 真空測量、膜厚測試、電控系統(tǒng)組成。

技術(shù)指標(biāo)：

極限真空度5.0×10-5Pa，系統(tǒng)漏率：1×10-7PaL/S； 恢復(fù)真空時間：40分鐘可達6.6×10 Pa

真空室：D形真空室，尺寸350× 380mm 

樣品臺：尺寸為4英寸厚度3mm的平面樣品；

電極：數(shù)量：4支水冷結(jié)構(gòu)；直徑Φ20㎜

樣品基片:，基片在鍍膜位置實現(xiàn)自轉(zhuǎn)。基片的溫度從室溫至600℃

4套擋板系統(tǒng)：基片擋板與源擋板；靶擋板共有3套， 樣品擋板（１套）

石英晶振膜厚控制儀：膜厚測量范圍0-999999? 

可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統(tǒng)。

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電阻蒸發(fā)鍍膜機的結(jié)構(gòu)以及特點

結(jié)構(gòu)和特點：結(jié)構(gòu)可為立臥式雙開門結(jié)構(gòu)，成膜速率快，色澤鮮亮，膜層不易受污染，可獲得致密性好、純度高、膜厚均勻的膜層，不產(chǎn)生廢液、廢水，可避免對環(huán)境污染，屬環(huán)保設(shè)備。

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司本著多年電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品行業(yè)經(jīng)驗，專注電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品研發(fā)定制與生產(chǎn)，先進的電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備和技術(shù)，建立了嚴格的產(chǎn)品生產(chǎn)體系，想要更多的了解，歡迎咨詢圖片上的熱線電話?。?！