電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的系統(tǒng)裝置介紹

1、系統(tǒng)自動(dòng)監(jiān)控和保護(hù)功能強(qiáng)，包括斷水報(bào)警、相序檢測(cè)與保護(hù)、溫度檢測(cè)與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測(cè)與保護(hù)等。

2、分子篩吸附裝置，避免機(jī)械泵返油造成膜層污染，提高薄膜純凈度。

3、膜厚監(jiān)測(cè)及控制系統(tǒng)，可在線監(jiān)測(cè)及控制膜層厚度，膜厚儀與基片擋板聯(lián)動(dòng)，形成閉環(huán)控制。采用晶振膜厚儀

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電子束鍍膜機(jī)的特點(diǎn)/用途介紹

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產(chǎn)品特點(diǎn)/用途：

?設(shè)備一體化設(shè)計(jì)，占地面積小，性能穩(wěn)定，性價(jià)比高，使用維護(hù)成本低；

?適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、有機(jī)膜，也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等；

?適用于制備光學(xué)薄膜、導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜等。