電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)各部件介紹

1、烘烤照明系統(tǒng)1套。烘烤溫度：室溫-150℃。（在10-4Pa時(shí)，真空室內(nèi)殘余氣體的組合，水蒸汽約占 90%以上，因此在該壓強(qiáng)下進(jìn)行蒸鍍，實(shí)際上相當(dāng)于在水蒸汽中制膜，為了減少水份，提高真空室溫，使水分解，是提高膜層質(zhì)量的一種可行辦法）。

2、電控柜：標(biāo)準(zhǔn)電控柜，組裝總控制電源、真空系統(tǒng)控制（分子泵、機(jī)械泵電源、擋板等）、數(shù)顯真空計(jì)等。柜底下配腳輪，方便移動(dòng)、定位。

3、手動(dòng)按鈕式操作，備留機(jī)電轉(zhuǎn)換及控制接口，方便實(shí)驗(yàn)記錄.

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雙槍電子束鍍膜機(jī)介紹

電子槍蒸發(fā)是到目前為止應(yīng)用較多的一種蒸發(fā)方式，它可以蒸發(fā)任何一種鍍膜材料，它的工作方式是：將鍍膜材料放在坩堝里面，將蒸發(fā)源制作成燈絲形狀，采用一專(zhuān)門(mén)的控制柜，對(duì)燈絲加一強(qiáng)電流，高電壓，由于燈絲的材料是鎢，所以它會(huì)發(fā)熱，然后會(huì)發(fā)射電子，再采用一定的磁場(chǎng)將其聚集成一定形狀，并牽引到坩堝上，這樣就形成了一股電子束，由于電子束溫度非常高，可以熔化任何鍍膜藥材，當(dāng)鍍膜藥材被電子束熔化后（有些材料是直接升華），藥材的分子（原子或者離子）在真空中成直線運(yùn)動(dòng)，然后遇到基板，就凝結(jié)下來(lái)，經(jīng)過(guò)這種方式生長(zhǎng)，形成薄膜！電子束被約束在靶面附近運(yùn)動(dòng)，電子流密度很大，在靶面附近產(chǎn)生很強(qiáng)的非彈性碰撞，電離幾率很大，形成很強(qiáng)的等離子體。

常用的有將電子束的偏轉(zhuǎn)角制作成270度，、或者運(yùn)行軌跡為e型的e行電子槍或者電子束偏轉(zhuǎn)角180度，運(yùn)行軌跡為c型的c型電子槍兩種。

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電子束鍍膜的濺射方式

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濺射方式是用高速正離子轟擊靶材表面，通過(guò)動(dòng)能傳輸，令靶材的分子（原子）有足夠的能量從靶材表面逸出，在產(chǎn)品表面凝聚形成薄膜。

用濺射的方法制鍍的薄膜附著性強(qiáng)，薄膜的純度高，可以同時(shí)濺射多種不同成分的材料，但是對(duì)靶材的要求高，不能象電子槍一樣節(jié)約資源。

目前運(yùn)用較多的有磁控濺射，磁控濺射是指平行于陰極表面施加強(qiáng)電場(chǎng)，將電子約束在陰極靶材表面附近，提高電離效率。它是操作比較簡(jiǎn)單的一種，所以運(yùn)用非常廣。