多晶硅鑄錠爐中，多個(gè)組件是需要石墨材料。特別是加熱器中使用的加熱材料- 高純石墨，以及加熱器中使用的隔熱材料- 高純碳?xì)指魺岵牧?，是目前重要的配套材料?

加熱器中使用的加熱材料- 高純石墨材料在多晶硅鑄錠爐設(shè)計(jì)上，為使硅料熔融，必須采用合適的加熱方式。從加熱的效果而言，感應(yīng)加熱和輻射加熱均可以達(dá)到所需的溫度。一般多采用輻射加熱方式。它可以對結(jié)晶過程的熱量傳遞進(jìn)行精準(zhǔn)控制，易于在坩堝內(nèi)部形成垂直的溫度梯度。

半導(dǎo)體的發(fā)展與石墨材料在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用是分不開的。在半導(dǎo)體工業(yè)中，直拉單晶爐的加熱系統(tǒng)大量采用高純石墨材料。還在半導(dǎo)體硅片加工（包括區(qū)熔、外延、外形加工等）中作為輔助工具、部件；在半導(dǎo)體硅片用多晶硅材料的生產(chǎn)中為輔助工具、部件。電子工程用石墨制品，首先是實(shí)現(xiàn)在半導(dǎo)體工業(yè)中得到應(yīng)用。進(jìn)入21世紀(jì)，光伏產(chǎn)業(yè)得到了迅速的發(fā)展，太陽能電池用多晶硅錠材料在產(chǎn)量與市場上都出現(xiàn)了突飛猛進(jìn)的增大，這也給石墨制品在光伏產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域提供了一個(gè)發(fā)展前景廣闊的新市場。太陽能電池硅片所需要的重要原材料鑄錠多晶硅，在其生產(chǎn)裝置鑄錠爐中開始大量的采用高純、好的石墨材料。

石墨電解氧化法-該法又叫陽極氧化法，是以硫酸或硫酸與少量添加劑的混合液作為電解液， 石墨置于電解液中，通過對兩個(gè)電極通電的方法進(jìn)行陽極的氧化，即依靠陽極 氧化作用以及石墨在電化學(xué)場中的電位能克服石墨層間的范氏結(jié)合能，使插層 離子進(jìn)入層間，形成層間化合物。

它的工作原理主要是在外電場的作用下，在石墨周圍聚集大量的離子，在石墨層內(nèi)外形成很大的濃度差，借助外力的作用在石墨層間形成氧化反應(yīng)，生成硫酸，該法的對氧化劑的濃度要求不嚴(yán)格，可用濃度較低的氧 化劑溶液浸泡，產(chǎn)生的有害氣體較少，電解液以及水溶液可循環(huán)使用，減輕環(huán)境污染。