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用作電火花加工的工具電極的石墨材料必須具備下列條件:
1、結(jié)構(gòu)致密、組織均勻,不應(yīng)當(dāng)有粗顆粒料和大的氣孔;
2、有較高的機(jī)械強(qiáng)度,又有良好的加工性能,能加工出復(fù)雜的形狀或銳角、薄片狀;
3、石墨質(zhì)工具電極,在電火花加工過程中有一定損耗,這種損耗應(yīng)盡可能低;
4、放電特性穩(wěn)定,加工速度較快。
因此電火花加工用石墨一般都采用細(xì)顆粒結(jié)構(gòu)石墨或特細(xì)顆粒結(jié)構(gòu)石墨,在物理性能上比較好是各向同性。所以目前中國(guó)電火花加工石墨材料市場(chǎng)上用得較多的是細(xì)顆粒結(jié)構(gòu)的各向同性石墨。多晶硅鑄錠爐中,多個(gè)組件是需要石墨材料。特別是加熱器中使用的加熱材料- 高純石墨,以及加熱器中使用的隔熱材料- 高純碳?xì)指魺岵牧?,是目前重要的配套材料?
加熱器中使用的加熱材料- 高純石墨材料在多晶硅鑄錠爐設(shè)計(jì)上,為使硅料熔融,必須采用合適的加熱方式。從加熱的效果而言,感應(yīng)加熱和輻射加熱均可以達(dá)到所需的溫度。一般多采用輻射加熱方式。它可以對(duì)結(jié)晶過程的熱量傳遞進(jìn)行精準(zhǔn)控制,易于在坩堝內(nèi)部形成垂直的溫度梯度。
直拉單晶爐內(nèi)使用的石墨部件是一類易耗件,它由各種高純石墨加工而成。例如其中的石墨坩堝及其他石墨部件采用了高純細(xì)顆粒結(jié)構(gòu)石墨;石墨加熱器采用了高純各向同性石墨;石墨保溫罩和石墨蓋板采用高純中顆粒結(jié)構(gòu)的石墨。
在生產(chǎn)鑄錠多晶硅設(shè)備上,多個(gè)組件是需要石墨材料。特別是鑄錠爐加熱器中使用的加熱材料----高純石墨,以及所用的隔熱材料---高純碳?xì)指魺岵牧希际悄壳拌T錠多晶硅設(shè)備重要的、必不可少的配套材料。