壓差

這里根據(jù)潔凈度等級分2種情況：

1.相同潔凈度等級的潔凈室，壓差需要保持一致；

2.不同潔凈等級的潔凈室，相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa（這里主要是為了保障空氣從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū)，避免氣流倒灌）。

凈化車間施工流程中設備、設施的維護管理，制定相應的操作規(guī)范，保證設備按要求運轉，包括凈化空調系統(tǒng)，水氣電系統(tǒng)等，確保生產工藝要求和空氣潔凈度等級。

 物理凈化方法

吸附過濾即活性炭?；钚蕴渴且环N多孔含碳材料，具有高度發(fā)達的孔結構，活性炭的多孔結構為其提供大量的表面積，能與氣體（雜質）完全接觸，這使得活性炭具有吸附性能，很容易達到吸收和收集雜質的目的。像磁力一樣，所有分子之間都具有相互吸引力。為了防止?jié)崈羰抑g的交叉污染，潔凈室應設計有不同的空氣凈化室或潔凈室內的防污染措施。小物品的轉移應通過轉移窗口發(fā)送。

 氣密性是廠房圍護結構設計的一個關鍵。氣密性不良會導致凈化車間空氣的外泄和外界污染空氣的侵入，破壞凈化車間室內環(huán)境的潔凈度。圍護結構的氣密質量取決于墻、頂棚、門窗以及其他附加配件的構造和施工，這些都是應該引起重視的問題。凈化車間的潔凈度級別通常分為：百級、千級、萬級、十萬級和三十萬級。十萬級凈化車間一般適用于電子儀器儀表、計算機房、半導體廠、印刷廠、汽車工業(yè)、航天工業(yè)、光刻和微機制造等行業(yè)中。