湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

離子滲氮是在低真空含氮?dú)夥罩?，利用模具（陰極）和陽極之間產(chǎn)生的輝光放電進(jìn)行滲氮的工藝，與氣體滲氮相比工作環(huán)境好。由于離子氮化法不是依靠化學(xué)反應(yīng)作用，而是利用離子化了的含氮?dú)怏w進(jìn)行氮化處理，所以工作環(huán)境十分清潔而無需防止公害的特別沒備。因而，離子氮化法也被稱作“綠色”氮化法。離子滲氮研究所生產(chǎn)的各類中高1檔輝光離子滲氮爐設(shè)備已在航空、發(fā)動機(jī)曲軸、模具、軸承、工具、閥門、齒輪、工程機(jī)械、建筑機(jī)械基礎(chǔ)件等各機(jī)械行業(yè)及大中院校得到廣泛的應(yīng)用，部分產(chǎn)品出口到東南亞、俄羅斯、美國等國家和地區(qū)。

當(dāng)交流電壓的頻率較低(50HZ~5KHZ)時，工作氣體起輝點(diǎn)火電壓與直流放電時基本相同。當(dāng)電壓的頻率增加到中頻時，起輝點(diǎn)火電壓比用純直流靶電源時降低很多。??雙極性脈沖中頻靶電源，根據(jù)有無“串聯(lián)電壓調(diào)整”電路有分為“工藝型”和“經(jīng)濟(jì)型”兩種。離子轟擊工件表面還產(chǎn)生陰極濺射，濺射出鐵離子與氮離子化合形成氮化鐵FeN，F(xiàn)eN重新附著在工件表面，然后分解為Fe2N和Fe3N并放出氮原子向工件內(nèi)擴(kuò)散。?

?選用正弦波中頻靶電源，由于波形的原因，靶面產(chǎn)生打弧的幾率更低并優(yōu)于雙極性矩形波中頻靶電源。更適合于對薄膜表面和膜層質(zhì)量要求較高的濺射工藝。??一般來說，射頻輝光放電與直流及中頻交流脈沖輝光放電相比，可以在低一個數(shù)量級的氣體壓強(qiáng)狀態(tài)下進(jìn)行(例如，1.0×1-2Pa)。他們還認(rèn)為，得到大氣壓下均勻放電的關(guān)鍵是在較低電場下緩慢發(fā)展大量的電子雪崩。??