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潔凈度級(jí)別為6~9級(jí)的潔凈室則采用非單向流的氣流組織。流速控制潔凈室內(nèi)空氣的流動(dòng)要有一定速度,才能防止其他因素(如熱流)的擾亂。無(wú)塵車(chē)間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如硅芯片等)和服務(wù)提供所需環(huán)境的潔凈程度,以及溫濕度、微震動(dòng)、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo)。不同的氣流組織直接影響施工的難易程度及工程造價(jià)。一般潔凈度級(jí)別高于5級(jí)的潔凈室均采用單向流,其中以垂直單向流,但造價(jià)也。
純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng);廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運(yùn)行管理包括:實(shí)時(shí)檢測(cè),人員培訓(xùn),設(shè)備維護(hù),以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求??諝鈨艋环矫媸撬腿霛崈艨諝鈱?duì)室內(nèi)污染空氣進(jìn)行稀釋?zhuān)硪环矫媸茄杆倥懦鍪覂?nèi)濃度高的污染空氣。這些污染物很容易就會(huì)對(duì)無(wú)塵車(chē)間的衛(wèi)生造成影響。在進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間的時(shí)候,應(yīng)該要先進(jìn)行風(fēng)淋。在工作的時(shí)候,包括胡須在內(nèi)的所有毛發(fā),都應(yīng)該使用毛發(fā)護(hù)具來(lái)全部地遮蓋住。
純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng);廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運(yùn)行管理包括:實(shí)時(shí)檢測(cè),人員培訓(xùn),設(shè)備維護(hù),以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程,包括圍護(hù)結(jié)構(gòu)(俗稱(chēng)“房中房”);空調(diào)凈化系統(tǒng);供電、自控、弱電系統(tǒng)。使相關(guān)產(chǎn)品和服務(wù)能夠在一個(gè)滿(mǎn)足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進(jìn)行生產(chǎn)和操作,從而達(dá)到提高產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率,改善和提升相關(guān)服務(wù)質(zhì)量的目標(biāo)。