機(jī)械安裝：真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場(chǎng)所，周?chē)鷳?yīng)留有充分的余地，便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。安裝原理圖⑵真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，振動(dòng)小。⑶真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對(duì)小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對(duì)小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少?gòu)濐^。一般多做成雙級(jí)的，以獲得較高的真空度，主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。（焊接管路時(shí)應(yīng)清除管道中焊渣，嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入真空泵腔。）

羅茨泵與前級(jí)泵抽速之間的關(guān)系

羅茨泵的抽速與前級(jí)泵抽速之間的關(guān)系，主要取決于容積效率和羅茨泵許可的壓力差。如果容積效率低，則羅茨泵機(jī)組的有效抽速將會(huì)明顯下降。如果羅茨泵的壓力差超過(guò)許可的很大壓力差，由于壓縮功將使轉(zhuǎn)子過(guò)熱膨脹，而會(huì)被卡死。由于沒(méi)有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。因?yàn)楸脷ひ子谙蛑車(chē)h(huán)境散熱，仍然是不太熱的。

羅次泵大允許壓差范圍在40-100hPa，在較高的壓力范圍（150hPa）時(shí)，允許的壓力差稍高，因?yàn)楸怀闅怏w量多謝，改善了轉(zhuǎn)子的冷卻。由于壓差的增加，必將引起所需功率也要增加。

在羅茨泵的出口管道設(shè)置專(zhuān)用的氣體冷卻器，這時(shí)許可的很壓差可以增加，因?yàn)槔鋮s氣體的回流能保持轉(zhuǎn)子的溫度在規(guī)定的范圍內(nèi)。

在真空和高真空范圍內(nèi)，抽速比多采用10:1。在入口壓力有較大變化或前級(jí)壓力變小，則壓縮比降低，故抽速比多選擇5:1。

阿爾卡特干泵ADP/ADS系列

   ADP/ADS系列2產(chǎn)品的四種型號(hào)可滿(mǎn)足不同真空要求，環(huán)境清潔的工藝應(yīng)用可選擇LM型，輕型或中型應(yīng)用要求可選擇P型，H型可供苛刻要求的工藝環(huán)境選擇。許多來(lái)自半導(dǎo)體工業(yè)的主要制造商已經(jīng)選擇這一產(chǎn)品，這一選擇使他們大大縮短了計(jì)劃外停l工期，從而節(jié)約了運(yùn)行成本，提高了利潤(rùn)率。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。

特點(diǎn)：

處理能力可靠性高寬交叉槽可容納大量粉塵和顆粒精l確而閉合的溫控系統(tǒng)、高操作溫度以及從進(jìn)口到出口的氣體溫度的線(xiàn)性增長(zhǎng)各級(jí)采取立式抽吸防止吹掃腔中粉塵聚集