Parylene氣相沉積涂敷工藝

　 在微電子領(lǐng)域，近些年P(guān)arylene應(yīng)用發(fā)展較快，真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細(xì)尺寸的涂層，而且該涂層可用微電子的加工工藝進(jìn)行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外，在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene，更被國(guó)外集成電路研究者所青睞，用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。 　　 　　Parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時(shí)，在工作上有很強(qiáng)的滲透性，能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細(xì)孔中，真正形成完全敷形，均勻一致的防護(hù)涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒(méi)有溶劑、助劑，即使在0.1微米厚也沒(méi)有，氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜，沒(méi)有通常涂層的固化過(guò)程和固化引起的收縮應(yīng)力，對(duì)工件能進(jìn)行表面加固，但不會(huì)引起傷害，也沒(méi)有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。

        Parylene適合用于鐵氧體材料(磁環(huán)、磁芯)等電子組件的鍍膜，鍍膜后的電子組件其涂膜附著力強(qiáng)、耐磨性好、硬度高、抗高電壓絕緣性強(qiáng)，漆膜外觀細(xì)膩均勻、柔滑、觸感好。耐漆包線的繞線性強(qiáng)，漆膜不裂傷。同時(shí)可以增加鐵氧體等磁性材料的介電性及耐高壓性能，可以解決普通環(huán)氧樹脂噴涂處理后不耐酸、磨等方面的缺陷。Parylene 涂層能在磁性材料表面形成均勻一同的絕 緣防護(hù)涂層！

        鑄造部件：經(jīng)Parylene處理的表面不會(huì)有微粒產(chǎn)生，同時(shí)可以增強(qiáng)工作的可靠性，并且可防止污染。

ParyleneD的介電性能和物理機(jī)械性能

Parylene D，性質(zhì)與Parylene C相似，但是具有更高的耐熱能力。其在較高溫度下仍有優(yōu)良的介電性能和物理機(jī)械性能。 Parylene F，其薄膜具有高的介電強(qiáng)度和低的介電常數(shù)，且熱穩(wěn)定性好，還具備抗紫外能力。薄膜本身連續(xù)、致密、無(wú)，可以作為各種復(fù)雜形狀電子器件的保護(hù)膜使用。 Parylene HT，該材料具有更低的介電常數(shù)、好的穩(wěn)定性和防水、防霉、防鹽霧性能。短期耐溫可達(dá)450°C，長(zhǎng)期耐溫可達(dá)350°C，并具有強(qiáng)的抗紫外線能力。更適合作為高頻微波器件的防護(hù)材料。符合ISO-10993生物試驗(yàn)要求，符合UDP第六類塑料的生物試驗(yàn)要求。 Parylene涂層除具備以上優(yōu)異防護(hù)性外，還具有良好的生物兼容性、生物穩(wěn)定性、優(yōu)異的自潤(rùn)滑性、涂層均勻可控性，以及好的物理機(jī)械性能。多年來(lái)，其在航天航空、微電子、半導(dǎo)體、傳感器、磁性材料、器械、保護(hù)等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用，已經(jīng)慢慢滲透到人們的日常生活中。