拋光墊 編輯 討論 上傳視頻拋光墊又稱拋光皮，拋光布，拋光片，化學(xué)機(jī)械拋光中決定表面質(zhì)量的重要輔料。中文名拋光墊外文名Polishing pad, Polishing cloth按是否有磨料分為有磨料拋光墊和無磨料拋光墊按表面結(jié)構(gòu)平面型、網(wǎng)格型和螺旋線型目錄1 分類2 作用3 影響因素分類編輯按是否含有磨料可以分為有磨料拋光墊和無磨料拋光墊; 按材質(zhì)的不同可以分為聚氨酯拋光墊、無紡布拋光墊和復(fù)合型拋光墊; 按表面結(jié)構(gòu)的不同大致可分為平面型、網(wǎng)格型和螺旋線型。

硅片的化學(xué)機(jī)械拋光過程是以化學(xué)反應(yīng)為主的機(jī)械拋光過程,要獲得質(zhì)量好的拋光片,必須使拋光過程中的化學(xué)腐蝕作用與機(jī)械磨削作用達(dá)到-種平衡。

如果化學(xué)腐蝕作用大于機(jī)械拋光作用,則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機(jī)械磨削作用大于化學(xué)腐蝕作用,則表面產(chǎn)生高損傷層。

制備高濃度的氧化拋光液想要優(yōu)異的拋光效果,必須要氧化粉在拋光液體系中,具備非常好的懸浮性.分散性,否則如果分散性不好,容易導(dǎo)致有大

顆粒，或者懸浮性不好,都會影響拋光的效果,嚴(yán)重的話會損壞機(jī)器,因此做好氧化拋光液粉體的懸浮性和分散性需要加入特定的分散劑或者懸浮劑來

解決這個難題。

顆粒,或者懸浮性不好,都會影響拋光的效果, 嚴(yán)重的話會損壞機(jī)器.因此做好氧化拋光液粉體的懸浮性和分散性需要加入特定的分散劑或者縣浮劑來

那么氧化拋光液分散劑的種類與加入分散劑量是多少,懸浮性要保持多久,分散的效果如何去評定呢,跟以下幾個因素相關(guān)

4.要經(jīng)常清理拋光液中的沉淀物:不允許金屬物掉在拋光液中，否則將會造成拋光液的浪費進(jìn)而失效。

五:拋光液檢測之常規(guī)技術(shù)指標(biāo)分析

1.拋光液PH值檢測指標(biāo)-般在5. 5- -6. 5

2.拋光液外觀檢測指標(biāo)為黃色粘稠液體,可通過目測來完成

3.拋光液粘度檢測指標(biāo)-般在500- 100cps

4、拋光液有害物質(zhì)檢測指標(biāo):菌落總數(shù)、大腸菌群、致病菌、重金屬.等

5.拋光液其他檢測指標(biāo):粒度分布、固含量、密度、稀釋比例、環(huán)保性能等