檢漏儀是如何工作的?檢漏儀由離子源、分析器、、真空系統(tǒng)、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋檢漏儀是如何工作的，我們以磁偏轉型的檢漏儀為例進行說明。在質譜室的離子源N內，氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成東，并以-定的速度經由縫隙S1進入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有-定速度的離子束，將按圓形軌跡運動。調節(jié)加速電壓U使氦離子束Mz恰能通過縫隙S2到達收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束則以不同的偏轉半徑而被分開。

檢漏主要領域：空調制冷工業(yè)——壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機、真空爐等真空系統(tǒng)；檢漏設備檢漏過程中，如發(fā)現大量氦氣進質譜檢漏儀，應立即移去吸，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。檢漏主要領域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機等；儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等；

檢漏設備檢漏過程中，如發(fā)現大量氦氣進質譜檢漏儀，應立即移去吸，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。檢漏主要領域：冶金——真空電爐；低溫與壓力容器——液氮和液氦儲存罐、生物制品容器及各類壓力容器；輕工產品——保溫杯、太陽能集熱管、飲料罐口等。檢漏主要領域：電力工業(yè)——高壓開關、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；電力工業(yè)——電子器件、半導體、傳感器和積成電路；