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單晶硅爐用石墨熱場
單晶硅爐用石墨熱場,是一個集物理、化學、幾何綜合理論為一體,專門研究人員經(jīng)過多年反復考證,多年經(jīng)驗總結制定。
熱場采用細結構中粗石墨做爐底護盤。用于真空冶煉中的石墨隔熱板和底座,高溫電阻爐爐管、棒、板、格柵等元件,也是用石墨材料加工制成的。保溫罩、上下蓋采用進口等靜壓石墨做加熱器、坩鍋、導流簡、托桿、鍋托等,保證了石墨坩堝的強度及純度。熱場是單晶硅成晶的重要條件之一,熱場的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶,以及拉制單晶的質量好壞,其材質好壞直接影響熱場壽命。
石墨材料自身是多孔性的并且具有可滲透性,作為隔熱材料使用時,各層隔熱材料之間不需要預留額外的空間,非常具有優(yōu)勢,如果是采用了金屬材料比如鉬,來自焊料的金屬物質會沉積在金屬隔熱屏的表面并融合,引起彎曲和斷裂,雖然焊料也能沉積在石墨表面,但不會產(chǎn)生融合,至于石墨水分含量的考慮,爐內循環(huán)往復的升溫和降溫能夠很好的排除掉石墨含有的水分,因此石墨在高溫爐熱場尤其是釬焊爐中,是目前優(yōu)選的原材料。其潤滑性能隨鱗片大小而變,鱗片愈大,摩擦系數(shù)愈小,潤滑性愈好。
1)石墨模具在熱處理前表面有氧化皮、銹斑及局部脫碳。
2)石墨模具淬火加熱后,冷卻淬火介質選擇不當,淬火介質中雜質過多或老化。
(2)預防措施
1)石墨模具熱處理前應去除氧化皮、銹斑,在淬火加熱時適當保護石墨模具表面,應盡量采用真空電爐、鹽浴爐和保護氣氛爐中加熱。
2)石墨模具淬火加熱后冷卻時,應選擇合適的冷卻介質,對長期使用的冷卻介質要經(jīng)常進行過濾,或定期更換。