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凈化車間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)。目前凈化車間應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
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充分通風(fēng)是為了稀釋和消除室內(nèi)污染空氣。 根據(jù)不同的清潔要求,當(dāng)凈化車間高度較高時(shí),適當(dāng)增加通風(fēng)量。 其中,凈化車間的通風(fēng)量是根據(jù)高或中效凈化系統(tǒng)來考慮的,其余的要根據(jù)凈化系統(tǒng)集中布置在機(jī)房或系統(tǒng)末端,可適當(dāng)增加通風(fēng)頻率10-20%。
在凈化車間中保持一定的正壓力是確保潔凈室不被污染或減少污染并保持設(shè)計(jì)潔凈度的必要條件之一。 即使是負(fù)壓潔凈室,它也必須具有不低于其潔凈度水平的相鄰房間或套間,以維持一定的正壓,并且可以保持負(fù)壓潔凈室的潔凈度。
凈化車間
目的: 潔凈無塵車間為加強(qiáng)凈化車間衛(wèi)生管理和控制,確保凈化車間衛(wèi)生清潔度,保證產(chǎn)品質(zhì)量安全衛(wèi)生,定本流程。
1 空間環(huán)境衛(wèi)生控制規(guī)程:
1.1 職責(zé):
1.1.1現(xiàn)場(chǎng)質(zhì)檢員負(fù)責(zé)車間空氣凈化系統(tǒng)的開關(guān);
1.1.2車間衛(wèi)生員負(fù)責(zé)空間消毒;
1.2.3現(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)主管負(fù)責(zé)監(jiān)督車間空間衛(wèi)生的實(shí)施工作;
1.2 實(shí)施:
1.2.1 每天生產(chǎn)前1-2小時(shí),現(xiàn)場(chǎng)質(zhì)檢員應(yīng)負(fù)責(zé)開啟車間空氣凈化系統(tǒng),確認(rèn)凈化設(shè)備正常工作,確認(rèn)車間空氣壓力≥8pa;并作好相關(guān)記錄;
1.2.2生產(chǎn)結(jié)束后,質(zhì)檢員應(yīng)負(fù)責(zé)關(guān)閉空氣凈化系統(tǒng);并做好相關(guān)記錄;
1.2.3 每天生產(chǎn)前半小時(shí),車間衛(wèi)生員應(yīng)用95%的食用酒精對(duì)凈化車間及相關(guān)緩沖間進(jìn)行消毒;
1.2.4 在每天就餐時(shí)間結(jié)束后,衛(wèi)生員應(yīng)用95%的食用酒精對(duì)人員出入口及緩沖間進(jìn)行消毒;
1.2.5 衛(wèi)生員在消毒過程中,應(yīng)注意避免將酒精直接噴向產(chǎn)品上;
1.2.6 所有出入凈化車間的人員進(jìn)出車間必須隨手關(guān)門,以保證現(xiàn)場(chǎng)空間的潔凈度和安全氣壓;