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【磁控濺射鍍膜設(shè)備】行業(yè)前景怎樣
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那麼磁控濺射鍍膜設(shè)備可以運(yùn)用于哪一方面呢?在硬塑鍍層中的運(yùn)用:例如切削刀具、模具和耐磨損抗腐蝕等零配件。在安全防護(hù)鍍層中的運(yùn)用:飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)的葉子、小車(chē)厚鋼板、散熱器等。在光學(xué)薄膜行業(yè)中的運(yùn)用:增透膜、高原反應(yīng)膜、截至濾光片、防偽標(biāo)識(shí)膜等。在建筑玻璃層面的運(yùn)用:太陽(yáng)操縱膜、低輻射夾層玻璃、防霧防露和自清潔玻璃等。在太陽(yáng)能利用應(yīng)用領(lǐng)域:太陽(yáng)能發(fā)電集熱器、太陽(yáng)電池等。在集成電路芯片生產(chǎn)制造中的運(yùn)用:塑料薄膜變阻器、薄膜電容器、塑料薄膜溫度感應(yīng)器等。但都是鍍膜,如何做差異化,我目前也只是拋磚引玉,只有大家一起開(kāi)動(dòng)腦袋了。在信息內(nèi)容顯示信息應(yīng)用領(lǐng)域:液晶顯示屏、低溫等離子屏等。在信息內(nèi)容儲(chǔ)存應(yīng)用領(lǐng)域:磁信息內(nèi)容儲(chǔ)存、磁光信息內(nèi)容儲(chǔ)存等。在裝飾設(shè)計(jì)裝飾品上的運(yùn)用:手機(jī)套、表帶、眼鏡框、五金配件、裝飾品等鍍一層薄薄的膜。
濺射鍍膜技術(shù)
濺射鍍膜濺射鍍膜就是在真空中利用荷能粒子轟擊靶表面,使被轟擊出的粒子沉積在基片上的技術(shù)。通常,利用低壓惰性氣體輝光放電來(lái)產(chǎn)生入射離子。陰極靶由鍍膜材料制成,基片作為陽(yáng)極,真空室中通入0.1-10Pa的Ar或其它惰性氣體,在陰極(靶)1-3KV直流負(fù)高壓或13.56MHz的射頻電壓作用下產(chǎn)生輝光放電。濺射時(shí),氣體被電離之后,氣體離子在電場(chǎng)作用下飛向接陰極的靶材,電子則飛向接地的壁腔和基片。電離出的離子轟擊靶表面,使得靶原子濺出并沉積在基片上,形成薄膜。濺射方法很多,主要有二級(jí)濺射、三級(jí)或四級(jí)濺射、磁控濺射、對(duì)靶濺射、射頻濺射、偏壓濺射、非對(duì)稱交流射頻濺射、離子束濺射以及反應(yīng)濺射等。
由于被濺射原子是與具有數(shù)十電子伏特能量的正離子交換動(dòng)能后飛濺出來(lái)的,因而濺射出來(lái)的原子能量高,有利于提高沉積時(shí)原子的擴(kuò)散能力,提高沉積組織的致密程度,使制出的薄膜與基片具有強(qiáng)的附著力。濺射時(shí),氣體被電離之后,氣體離子在電場(chǎng)作用下飛向接陰極的靶材,電子則飛向接地的壁腔和基片。這樣在低電壓和低氣壓下,產(chǎn)生的離子數(shù)目少,靶材濺射效率低;而在高電壓和高氣壓下,盡管可以產(chǎn)生較多的離子,但飛向基片的電子攜帶的能量高,容易使基片發(fā)熱甚至發(fā)生二次濺射,影響制膜質(zhì)量。磁控濺射鍍機(jī)磁控濺射鍍一層薄薄的膜是工業(yè)化中必不可少的技術(shù)性之首,磁控濺射鍍一層薄薄的膜技術(shù)性正運(yùn)用于全透明導(dǎo)電膜、電子光學(xué)膜、超硬膜、耐腐蝕膜、帶磁膜、增透膜、減反膜及其各種各樣裝飾膜,在國(guó)防安全和社會(huì)經(jīng)濟(jì)生產(chǎn)制造中的功效和影響力日漸強(qiáng)勁。另外,靶材原子在飛向基片的過(guò)程中與氣體分子的碰撞幾率也大為增加,因而被散射到整個(gè)腔體,既會(huì)造成靶材浪費(fèi),又會(huì)在制備多層膜時(shí)造成各層的污染。
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磁控濺射
(1)各種功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低溫沉積氮化硅減反射膜,以提高太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
(2)裝飾領(lǐng)域的應(yīng)用,如各種全反射膜及半透明膜等,如手機(jī)外殼,鼠標(biāo)等。
(3) 在微電子領(lǐng)域作為一種非熱式鍍膜技術(shù),主要應(yīng)用在化學(xué)氣相沉積(CVD)或金屬有機(jī)
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