無塵車間滅菌方法

　　對無塵車間，除對送入車間內(nèi)的空氣中的生物或非生物微粒數(shù)要受到控制，還要對室內(nèi)器具、地面、墻面、壁板等表面進(jìn)行消毒處理。

　　傳統(tǒng)滅菌方法為:紫外線滅菌、藥劑滅菌、加熱滅菌和臭氧滅菌法。它們安全可靠性都很好，應(yīng)用為廣泛。

　　另外，整個(gè)被消毒滅菌的潔凈室應(yīng)通過送回風(fēng)管形成循環(huán)狀態(tài)，每天開機(jī)做空氣滅菌1--1.5小時(shí);若需對潔凈室墻體、地面和設(shè)備等表面進(jìn)行消毒滅菌則需2小時(shí)左右無塵車間內(nèi)的有害物質(zhì)就能夠得到有效的控制。

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無塵車間靜電的危害

　　1、靜電庫侖力：在靜電庫侖力的作用下，吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時(shí)，易使產(chǎn)品報(bào)廢?，F(xiàn)在線徑更細(xì)，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會損害元器件，這種情形多發(fā)生在腐蝕清洗、光刻、點(diǎn)焊和封裝等工藝過程中。一級這個(gè)級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè)，對集成電路的精1確要求為亞微米。

　　2、靜電放電：

　　(1)元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷，觸摸器件腳時(shí)發(fā)生ESD，其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達(dá)20A(10~100s)，不要說高密度，細(xì)線徑，薄SiO2膜的Lsi、Vlsi，就是一般IC、MOS都會遭受損壞。在無塵車間工作要注意以下幾點(diǎn)：一、切勿長時(shí)間工作進(jìn)入無塵車間需要穿戴無塵服佩戴口罩等，這些衣服一般封閉性都很好，長時(shí)間工作可能會造成細(xì)胞缺氧。

　　一般說器件絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場強(qiáng)是E=(5-10)×106V/cm，如果器件SiO2膜厚度取1000，其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿，而人體帶靜電超過50V、100V是極平常的。

 潔凈室的級別的選擇，對業(yè)主的投資預(yù)算有至關(guān)重要的影響。業(yè)主、設(shè)計(jì)方、施工承包商都必須了解規(guī)范或ISO標(biāo)準(zhǔn)中那些不必要的變量、因素對于花費(fèi)的影響。

  國際污染物控制學(xué)會聯(lián)盟（ICCCS）協(xié)調(diào)國際標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）早已制定了ISO-14644標(biāo)準(zhǔn)，我國采用的GB510073-2001潔凈室級別標(biāo)準(zhǔn)與IS0標(biāo)準(zhǔn)是一致的

生物潔凈室是在工業(yè)潔凈室的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，所以其標(biāo)準(zhǔn)也往往以工業(yè)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)為基礎(chǔ)，再規(guī)定空氣中允許的微生物濃度?，F(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)允許的細(xì)1菌濃度包括浮游菌濃度及沉降菌濃度兩種。

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