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湖北豐熱科技有限公司(原武漢離子熱處理研究所),專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè);是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐,并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。
公司為國(guó)內(nèi)早期從事專業(yè)輝光離子滲氮爐設(shè)備生產(chǎn)的廠商,是國(guó)內(nèi)輝光離子滲氮熱處理行業(yè)龍頭企業(yè);湖北豐熱科技有限公司其旗下有武漢離子滲氮研究所、武漢欣杰熱處理有限公司。
公司是經(jīng)國(guó)家科學(xué)技術(shù)1部認(rèn)定的“國(guó)家火炬計(jì)劃重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè)”、是按高企認(rèn)定新標(biāo)準(zhǔn)經(jīng)湖北省高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)定管理工作協(xié)調(diào)小組認(rèn)定的“高新技術(shù)企業(yè)”;公司多項(xiàng)產(chǎn)品通過(guò)了省部級(jí)和中國(guó)熱處理行業(yè)協(xié)會(huì)的科技成果鑒定,曾獲得“國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)”、“教育1部科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)”、“機(jī)械工業(yè)科技進(jìn)步三等獎(jiǎng)”等獎(jiǎng)項(xiàng),公司產(chǎn)品項(xiàng)目曾被列為“國(guó)家火炬計(jì)劃”、“經(jīng)貿(mào)委國(guó)1債”、“科技部中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新基1金”,公司多項(xiàng)產(chǎn)品被評(píng)為“湖北省高新技術(shù)產(chǎn)品”和“熱處理行業(yè)先進(jìn)設(shè)備”。射頻磁控濺射氣體放電時(shí)等離子阻抗低,工作氣體擊穿點(diǎn)火電壓和維持異常輝光放電電壓比中頻靶電源時(shí)又要降低很多(點(diǎn)火電壓只有直流放電等離子輝光放電時(shí)的五分之一~八分之一)。
在陰極附近,二次電子發(fā)射產(chǎn)生的電子在較短距離內(nèi)尚未得到足夠的能使氣體分子電離或激發(fā)的動(dòng)能,所以緊接陰極的區(qū)域不發(fā)光。而在陰極輝區(qū),電子已獲得足夠的能量碰撞氣體分子,使之電離或激發(fā)發(fā)光。在玻璃管兩端各接一平板電極,充入惰性氣體,加數(shù)百伏直流電壓,管內(nèi)便產(chǎn)生輝光放電,其電流為10-4~10-2A。其余暗區(qū)和輝區(qū)的形成也主要取決于電子到達(dá)該區(qū)的動(dòng)能以及氣體的壓強(qiáng)(電子與氣體分子的非彈性碰撞會(huì)失去動(dòng)能)。
Roth等人用離子捕獲原理解釋APGD,即當(dāng)所用工作電壓頻率高到半個(gè)周期內(nèi)可在極板之間捕獲正離子,又不高到使電子也被1捕獲時(shí),將在氣體間隙中留下空間電荷,它們影響下半個(gè)周期放電,使所需放電場(chǎng)強(qiáng)明顯降低,有利于產(chǎn)生均勻的APGD。